[实用新型]蒸气压稳定的MO源装置

权利要求书

1.一种蒸气压稳定的MO源装置，其特征在于，包括：

第一MO源供给单元，至少用于向第二MO源供给单元补充MO源蒸气，以使所述第二MO源供给单元中的MO源蒸气压保持在选定范围内；

第二MO源供给单元，与所述第一MO源供给单元连接，并至少用于以MO源溶液向外延生长设备内提供MO源蒸气；

载气缓冲单元，与所述第二MO源供给单元连接，并至少用于使自第二MO源供给单元输出的载气中携带的溶剂与载气分离，且使所述溶剂被截留在所述载气缓冲单元中；

控制单元，与所述第一MO源供给单元、第二MO源供给单元、载气缓冲单元连接，并至少用于调节所述第一MO源供给单元、第二MO源供给单元、载气缓冲单元的工作状态；

所述第一MO源供给单元能够依次与第二MO源供给单元、外延生长设备连通而形成第一MO源输送线路，以及，所述第一MO源供给单元能够依次与第二MO源供给单元、载气缓冲单元、外延生长设备连通而形成第二MO源输送线路。

2.根据权利要求1所述的蒸气压稳定的MO源装置，其特征在于：

当第二MO源供给单元的出气流量＝第二MO源供给单元的进气流量时，所述第一MO源供给单元能够依次与第二MO源供给单元、外延生长设备连通而形成第一MO源输送线路；

当第二MO源供给单元的出气流量第二MO源供给单元的进气流量时，所述第一MO源供给单元能够依次与第二MO源供给单元、载气缓冲单元、外延生长设备连通而形成第二MO源输送线路。

3.根据权利要求1或2所述的蒸气压稳定的MO源装置，其特征在于：

所述第一MO源供给单元经第二进气管(11)与第二MO源供给单元相连通，所述第二进气管(11)上设置有第三质量流量控制器(13)，所述第三质量流量控制器(13)至少用于监测所述第二进气管(11)内的进气流量；

所述第二MO源供给单元经第二出气管(12)与外延生长设备相连通，所述第二出气管(12)包括依次连接并导通的第一管段、第二管段和第三管段，所述第一管段与所述第二MO源供给单元相连通，所述第三管段能够与外延生长设备相连通，所述第一管段上设置有第四质量流量控制器(14)，所述第四质量流量控制器(14)至少用于监测所述第一管段内的出气流量；

所述载气缓冲单元分别经第三进气管(21)、第三出气管(22)与所述第二出气管(12)的第二管段相连通，所述第三进气管(21)还设置有第五控制阀(19)，所述第三出气管(22)上还设置有沿载气输送方向依次设置的第六质量流量控制器(24)、第六控制阀(20)，所述第六质量流量控制器(24)至少用于监测所述第三出气管(22)内的出气流量，所述第二管段上还设置有第七控制阀(26)，所述第七控制阀(26)设置在所述第二出气管(12)与第三进气管(21)、第三出气管(22)的连接处之间；

所述控制单元分别与所述第三质量流量控制器(13)、第四质量流量控制器(14)、第五控制阀(19)第六质量流量控制器(24)、第六控制阀(20)连接。

4.根据权利要求3所述的蒸气压稳定的MO源装置，其特征在于：

所述第一MO源供给单元包括至少一固态MO源容置机构，所述固态MO源容置机构包括第一容器(1)，所述第一容器(1)具有用于容置固态MO源的第一腔室，所述第一腔室分别与第一进气管(2)、第一出气管(3)相连通。

5.根据权利要求4所述的蒸气压稳定的MO源装置，其特征在于：所述第一进气管(2)的一端设置在所述第一腔室的顶部区域，所述第一出气管(3)的一端设置在所述第一腔室的底部区域。