[实用新型]一种晶圆盒用压盒装置

说明书

本实用新型涉及一种晶圆盒用压盒装置，包括机架、第一压盒机构和第二压盒机构，机架上沿着X轴负方向的一侧设置有第一压盒机构，机架上沿着X轴正方向的一侧设置有第二压盒机构。本实用新型一种晶圆盒用压盒装置，通过第一压盒机构和第二压盒机构可以快速自动的实现对晶圆盒的压盒处理，操作简单，使用方便；通过第一压盒机构和第二压盒机构相互连接的驱动结构设置，可以减少一个驱动电机的使用，降低成本。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工相关技术领域，尤其涉及一种晶圆盒用压盒装置。

背景技术

晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。晶圆盒放置到位后一般需要进行压盒操作，避免晶圆盒在加工过程中产生位置偏移等情况，但是现有技术中的压盒操作一般通过手动拨动压块的操作方式。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆盒用压盒装置，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆盒用压盒装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种晶圆盒用压盒装置，包括机架、第一压盒机构和第二压盒机构，机架上沿着X轴负方向的一侧设置有第一压盒机构，机架上沿着X轴正方向的一侧设置有第二压盒机构，第一压盒机构包括压盒驱动电机、第一压盒活动压块和第一齿条，压盒驱动电机沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过丝杆螺母连接机构与第一齿条沿着Y轴方向驱动连接设置，第一齿条与内侧的第一压盒活动压块啮合设置，第二压盒机构包括第二压盒活动压块和第二齿条，第二齿条与内侧的第二压盒活动压块啮合设置，第一压盒活动压块沿着Y轴正方向的一侧通过拉绳与第二压盒活动压块沿着Y轴正方向的一侧相连接。

作为本实用新型的进一步改进，第一压盒活动压块和第二压盒活动压块外侧的机架上均设置有挡壳。

作为本实用新型的进一步改进，第一压盒活动压块和第二压盒活动压块的顶部均设置有压舌，第一压盒活动压块和第二压盒活动压块的底部均设置有齿轮。

作为本实用新型的进一步改进，第一齿条在机架上的第一滑槽内沿着Y轴方向移动，第二齿条在机架上的第二滑槽内沿着Y轴方向移动。

作为本实用新型的进一步改进，第一滑槽沿着Y轴正方向一侧的机架上设置有第一挡块，第二滑槽沿着Y轴正方向一侧的机架上设置有第二挡块。

作为本实用新型的进一步改进，第一压盒机构的外侧设置有第一保护罩，第二压盒机构的外侧设置有第二保护罩，第一保护罩和第二保护罩分别通过安装螺栓安装在机架上。

作为本实用新型的进一步改进，第一保护罩上沿着Y轴方向的中间位置还设置有提手。

作为本实用新型的进一步改进，机架上还设置有用于放置拉绳的拉绳槽。

作为本实用新型的进一步改进，拉绳槽外侧的机架上还设置有压绳板。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型一种晶圆盒用压盒装置，通过第一压盒机构和第二压盒机构可以快速自动的实现对晶圆盒的压盒处理，操作简单，使用方便；通过第一压盒机构和第二压盒机构相互连接的驱动结构设置，可以减少一个驱动电机的使用，降低成本。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明