[实用新型]一种晶圆加工用夹爪机构

说明书

本实用新型涉及一种晶圆加工用夹爪机构，包括夹爪盒本体，夹爪盒本体的顶部和底部分别设置有上盖和下盖，夹爪盒本体内沿着Y轴的正方向依次设置有轴固定块和夹爪驱动机构，夹爪盒本体沿着X轴负方向的一侧设置有夹爪连接块，夹爪连接块通过夹爪连接轴与夹爪盒本体内的轴固定块相连接。本实用新型一种晶圆加工用夹爪机构，通过夹爪盒本体的夹爪驱动机构可以实现对晶圆盒的夹取操作，结构设置合理，操作简单，使用方便；夹爪连接块通过夹爪连接轴与夹爪盒本体内的轴固定块相连接的结构设置，可以方便通过夹爪连接块控制夹爪盒本体的运动情况。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工相关技术领域，尤其涉及一种晶圆加工用夹爪机构。

背景技术

晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。晶圆盒的进出操作通常是人工拿取的方式，需要设计一种夹取装置可以实现对晶圆盒的进出料的夹取操作。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆加工用夹爪机构，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆加工用夹爪机构。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种晶圆加工用夹爪机构，包括夹爪盒本体，夹爪盒本体的顶部和底部分别设置有上盖和下盖，夹爪盒本体内沿着Y轴的正方向依次设置有轴固定块和夹爪驱动机构，夹爪盒本体沿着X轴负方向的一侧设置有夹爪连接块，夹爪连接块通过夹爪连接轴与夹爪盒本体内的轴固定块相连接，夹爪驱动机构包括夹爪、夹爪电机、蜗杆座、蜗杆和蜗轮，夹爪电机通过电机座安装在蜗杆座上，夹爪电机沿着X轴正方向一侧的驱动端与蜗杆座内沿着X轴方向的蜗杆驱动连接设置，蜗杆与沿着Y轴负方向一侧的蜗轮相连接，蜗轮底部的两侧分别设置有夹爪固定轴，夹爪盒本体沿着X轴方向两侧的中间位置均设置有夹爪，夹爪的内侧通过夹爪臂安装在夹爪盒本体内的夹爪臂安装块上，夹爪臂与夹爪臂安装块铰接，夹爪固定轴与连杆的第一侧相连接，连杆的第二侧通过连接棒与夹爪连接臂相连接，夹爪连接臂与夹爪臂的内侧底部相连接。

作为本实用新型的进一步改进，蜗杆座的上方还设置有轴承安装板，轴承安装板通过立柱安装在下盖上，蜗轮的顶部连接设置有蜗轮盘，蜗轮盘的顶部通过第一轴承与轴承安装板相连接，蜗轮盘的底部通过第二轴承与下盖相连接。

作为本实用新型的进一步改进，蜗轮盘上设置有第一感应片，轴承安装板上设置有第一感应器安装板，第一感应器安装板上沿着X轴方向的两侧均设置有与第一感应片相配合的第一感应器。

作为本实用新型的进一步改进，夹爪臂沿着Y轴方向的一侧还设置有第二感应片，夹爪臂一侧的下盖上设置有与第二感应片相配合的第二感应器。

作为本实用新型的进一步改进，夹爪臂的底部内侧还连接设置有拉簧，拉簧与轴承安装板相连接。

作为本实用新型的进一步改进，夹爪底部内侧的下盖上设置有夹爪限位块。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型一种晶圆加工用夹爪机构，通过夹爪盒本体的夹爪驱动机构可以实现对晶圆盒的夹取操作，结构设置合理，操作简单，使用方便；夹爪连接块通过夹爪连接轴与夹爪盒本体内的轴固定块相连接的结构设置，可以方便通过夹爪连接块控制夹爪盒本体的运动情况。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明