[实用新型]切割液循环利用装置

说明书

本实用新型提供了一种切割液循环利用装置，包括切割液循环系统和固液分离系统，切割液循环系统包括循环缸和过滤桶，固液分离系统与所述循环缸连通；循环缸经一中隔板分隔成左右设置的粗滤室和储液室，中隔板远离循环缸缸底的一端开设有缺口，以使粗滤室与储液室连通；固液分离系统的进液口与粗滤室的粗滤液出口连通，其出液口与储液室的压滤进口连通，以使对粗滤后的切割混合液进行固液分离；过滤桶与储液室连通，以使对切割混合液进行精滤用于循环再利用。通过本申请实现切割混合液的可循环使用，并且提高切割品质，降低生产成本。

技术领域

本实用新型属于半导体晶圆用切割液循环利用的技术领域，具体地涉及一种切割液循环利用装置。

背景技术

目前芯片的基片材料以蓝宝石晶圆片为主，通常采用多线切割方式将蓝宝石晶棒切割成一定厚度的晶圆片。由于蓝宝石材料硬度非常高，金刚线表面必须要有足够的硬度，才能将蓝宝石晶棒切穿，因此金刚线采取将金刚石微粉电镀到钢线表面，形成足够的切割力来对蓝宝石材料进行切割。

蓝宝石材料切割过程中金刚线与蓝宝石晶棒剧烈摩擦出很高的温度，并产生大量蓝宝石粉末，行业内通常的做法是配置一定浓度的切割液原液，在切割过程中使用切割液喷嘴，对切割部位进行冷却，清洗。然而不足是每切割5～10次后，切割混合液就会因含有大量切割中产生的蓝宝石粉末而变得混浊，导致切割混合液的冷却和清洗功能变差，对蓝宝石材料切割品质产生较严重的影响。若将所用的切割混合液排放掉，更换新配制的切割液，此时切割液循环缸内的固体蓝宝石粉末会沉积很多，清理困难、耗时长，并且加上切割液材料成本高、用量大，造成生产人力成本和材料成本都较高。

因此，如何实现对蓝宝石材料切割过程中所使用的切割混合液循环再利用，且确保循环利用的生成成本较低，是一个亟待解决的课题。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种切割液循环利用装置，实现切割混合液的可循环使用，并且提高切割品质，降低生产成本。

该实用新型提供一种切割液循环利用装置，包括：

切割液循环系统，包括循环缸和与所述循环缸连通的过滤桶；

固液分离系统，与所述循环缸连通，用于所述循环缸内切割混合液的固液分离；

其中，所述循环缸经一中隔板分隔成左右设置的粗滤室和储液室，所述中隔板远离所述循环缸缸底的一端开设有缺口，以使所述粗滤室与所述储液室连通；所述固液分离系统的进液口与所述粗滤室的粗滤液出口连通，其出液口与所述储液室的压滤进口连通，以使对粗滤后的切割混合液进行固液分离；所述过滤桶与所述储液室连通，以使对切割混合液进行精滤用于循环再利用。

相比现有技术，本实用新型的有益效果为：通过回收的切割混合液进入经一中隔板分隔成左右设置的粗滤室和储液室的循环缸内，粗滤的切割混合液经重力沉淀后，一部分进入固液分离系统进行固液分离的液体进入储液室，另一部分直接进入储液室；储液室内的切割混合液再进入过滤桶进行精滤用于蓝宝石材料的切割位的冷却及清洗，冷却及清洗后的切割混合液又进入粗滤室进行重新利用；本申请结合切割液循环系统的粗滤、精滤加工，以及固液分离系统的分离加工，实现切割混合液的可循环使用，洁净的切割混合液对蓝宝石材料的切割位的冷却和清洗作用发挥的更好，切割品质大幅度提升，生产成本大幅降低。

较佳地，所述粗滤室内设有第一滤网，且所述第一滤网与所述循环缸拆卸安装；所述第一滤网位于原液进口的下方。

较佳地，所述过滤桶内设有第二滤网，且所述第二滤网与所述过滤桶拆卸安装；所述第二滤网的网孔数大于所述第一滤网的网孔数。

较佳地，所述第一滤网的网孔数为30目，所述第二滤网的网孔数为100目。

较佳地，所述循环缸上设有循环泵，所述循环泵伸至所述储液室内，用于将所述储液室内的切割混合液泵送至所述过滤桶，以及将所述过滤桶的切割混合液泵送至切割位。