[实用新型]半导体清洗机有效

专利信息
申请号: 202220880681.5 申请日: 2022-04-15
公开(公告)号: CN218049245U 公开(公告)日: 2022-12-16
发明(设计)人: 夏红兵 申请(专利权)人: 尚雅派斯科技(无锡)有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B3/14;F26B21/00;H01L21/67
代理公司: 深圳博敖专利代理事务所(普通合伙) 44884 代理人: 杨洋
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 半导体 清洗
【权利要求书】:

1.半导体清洗机,包括清洗台(1)和回型网架(2),所述回型网架(2)设于所述清洗台(1)上方,其特征在于:

所述清洗台(1)内下端开有清洁室(3),所述清洗台(1)上端右侧固定有水泵(4),所述水泵(4)左端连通有穿插进所述清洁室(3)内的抽液管(5),所述水泵(4)上端连通有导液管(6),所述导液管(6)左侧设有位于所述回型网架(2)上方的清洗组件;

所述回型网架(2)内侧设有装夹组件;所述回型网架(2)左侧设有旋转组件。

2.根据权利要求1所述的半导体清洗机,其特征在于:所述清洗台(1)上端且位于所述回型网架(2)下方开有废液槽(10),所述废液槽(10)内中端相接有过滤网(11),所述清洗台(1)左端相接有与所述废液槽(10)相通的废液管(12),所述清洗台(1)右端相接有与所述清洁室(3)相通的进液管(22)。

3.根据权利要求1所述的半导体清洗机,其特征在于:所述清洗组件包括电伸缩轴(13)、伸缩管(15)及清洁喷头(16),所述电伸缩轴(13)和所述伸缩管(15)从上至下依次相接于所述导液管(6)左上端,所述伸缩管(15)与所述导液管(6)相通,所述清洁喷头(16)连通于所述伸缩管(15)下端左侧。

4.根据权利要求3所述的半导体清洗机,其特征在于:所述清洗组件还包括烘干机(14)和烘干罩(17),所述烘干机(14)固定于所述电伸缩轴(13)和所述伸缩管(15)左端,所述烘干罩(17)连通于所述烘干机(14)下端。

5.根据权利要求1所述的半导体清洗机,其特征在于:所述装夹组件包括下凹槽网板(18)、上凹槽网板(19)及T型杆(20),所述下凹槽网板(18)共设有若干块且从左至右均匀相接于所述回型网架(2)内下端,所述上凹槽网板(19)共设有若干块且一一设于若个块所述下凹槽网板(18)正上方。

6.根据权利要求5所述的半导体清洗机,其特征在于:所述T型杆(20)共设有若干根且一一相接于若干块所述上凹槽网板(19)上端,所述T型杆(20)上端滑动贯穿出所述回型网架(2)上面,所述T型杆(20)上端右侧均螺纹贯穿有锁紧杆(21),所述锁紧杆(21)下端均转动连接于所述回型网架(2)上端。

7.根据权利要求2所述的半导体清洗机,其特征在于:所述清洗台(1)上端且位于所述废液槽(10)左右两侧均固定有固定板(7),所述回型网架(2)通过轴杆转动连接于左端的所述固定板(7)内侧。

8.根据权利要求7所述的半导体清洗机,其特征在于:所述旋转组件包括电机(8)和转动轴(9),所述电机(8)通过螺栓固定于左端的所述固定板(7)外侧,所述转动轴(9)转动贯穿于左端的所述固定板(7)中端,所述转动轴(9)相接于所述电机(8)动力输出端与回型网架(2)左端之间。

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