[实用新型]一种单晶炉二次加料用的辅助装置有效

专利信息
申请号: 202220876426.3 申请日: 2022-03-28
公开(公告)号: CN217948334U 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 郭党;张国峰;刘瑞强 申请(专利权)人: 辽宁博芯科半导体材料有限公司
主分类号: C30B27/02 分类号: C30B27/02;C30B29/06
代理公司: 沈阳友和欣知识产权代理事务所(普通合伙) 21254 代理人: 郭悦
地址: 121011 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉 二次 加料 辅助 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种单晶炉二次加料用的辅助装置,包括辅助运输车主体,辅助运输车主体的侧壁开设有装配槽,加料器固定架的另一侧壁固定安装有加料器辅助固定机构,加料器固定架的底部固定连接有升降气缸,升降气缸的底部转动连接有调节底座,装配槽的内腔底部固定装配有与调节底座传动连接的传动机构。通过在装配槽内所装配的传动机构对调节底座的位置进行调节,使加料器固定架以固定轴开始进行倾斜,便于对倾斜的角度进行调节,同时通过调节底座顶部所转动连接的升降气缸,在完成对加料器固定架的倾斜角度调节后,通过升降气缸可以对加料器固定架的高度位置进行调节,便于对单晶炉进行二次加料。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉二次加料技术领域,具体涉及一种单晶炉二次加料用的辅助装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。在通过单晶炉进行单晶硅生产的过程中需要进行复投,即重复加料。如果采用人工加料的方式,会带进很多杂质,影响产品的成晶率和产能,对所生产的产品造成污染。因此,需要采用圆管状的加料器进行复投,圆管状的加料器需要通过辅助装置进行运输。现有的辅助运输装置只设置单一的对加料器进行角度调节的结构,在运输完成后不方便对加料器进行倾斜和高度位置的调节。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉二次加料用的辅助装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶炉二次加料用的辅助装置,包括辅助运输车主体,所述辅助运输车主体的侧壁开设有装配槽,所述装配槽的内腔侧壁固定安装有固定轴,所述固定轴的外侧壁套接有转动连接件,所述装配槽内装配有加料器固定架,所述加料器固定架的一侧壁开设有连接槽,所述转动连接件滑动连接于连接槽内,所述加料器固定架的另一侧壁固定安装有加料器辅助固定机构,所述加料器固定架的底部固定连接有升降气缸,所述升降气缸的底部转动连接有调节底座,所述装配槽的内腔底部固定装配有与调节底座传动连接的传动机构。

优选的,所述加料器辅助固定机构包括固定安装在加料器固定架侧壁的第一固定块和第二固定块,所述第一固定块的侧壁铰接有连接架的一端,所述连接架的另一端一体成型有定位卡块,所述定位卡块插接至定位卡槽内,所述第二固定块的前侧壁固定装配有与定位卡块相卡接的定位组件,所述连接架的内侧壁通过伸缩组件固定装配有辅助固定架,所述辅助固定架的内侧壁粘贴有防滑层。

优选的,所述定位组件包括一体成型于第二固定块侧壁的安装腔,所述安装腔内滑动连接有定位架,所述定位架的内侧壁固定安装有贯穿至定位卡槽的定位插销,所述定位架的外侧壁固定安装有贯穿第二固定块的把手架,所述定位架与安装腔之间固定安装有第一弹簧。

优选的,所述伸缩组件包括一体成型于连接架内侧壁的装配轴,所述装配轴内插接有伸缩轴,所述伸缩轴与装配轴之间固定安装有第二弹簧。

优选的,所述传动机构包括开设在装配槽底部的调节槽,所述调节槽内转动连接有转动杆,所述运输车主体的侧壁固定安装有电机,所述电机的输出端与转动杆的端部固定连接,所述转动杆的外侧壁通过螺纹与调节底座相螺接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:一种单晶炉二次加料用的辅助装置,通过在装配槽内所装配的传动机构对调节底座的位置进行调节,使加料器固定架以固定轴开始进行倾斜,便于对倾斜的角度进行调节,同时通过调节底座顶部所转动连接的升降气缸,在完成对加料器固定架的倾斜角度调节后,通过升降气缸可以对加料器固定架的高度位置进行调节,便于对单晶炉进行二次加料;

在加料器固定架内通过伸缩组件装配有辅助固定架,所设置的伸缩组件可以保证辅助固定架与加料器的侧壁相贴合,对加料器进行位置的固定,伸缩组件可以满足对不同尺寸大小的加料器进行固定,使用更加方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的俯视图。

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