[实用新型]一种能自动擦胶的脱胶装置有效

专利信息
申请号: 202220852237.2 申请日: 2022-04-14
公开(公告)号: CN217114423U 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 丁海军;张爱鑫;邢旭;谢胜伟 申请(专利权)人: 乐山高测新能源科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/67
代理公司: 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 代理人: 宋珊珊;李瑞
地址: 614000 四川省乐山市五*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 脱胶 装置
【说明书】:

本申请实施例提供一种能自动擦胶的脱胶装置,包括:硅片作业线;所述硅片作业线包括脱胶工位和擦胶工位;所述擦胶工位用于放置经脱胶工位进行脱胶之后得到的硅片;用于识别硅片残胶的图像采集组件,设置于所述擦胶工位的旁侧;用于对硅片残胶进行擦除的擦胶机械手机构,设置于所述擦胶工位的旁侧。本申请实施例提供的脱胶装置能在脱胶操作结束后对硅片进行进一步的自动擦胶,以清除硅片上的残胶。

技术领域

本申请涉及一种硅片制造技术,尤其涉及一种能自动擦胶的脱胶装置。

背景技术

片状单晶硅电池的制造过程通常包括:将圆柱形的单晶硅棒切成方棒,然后利用缠绕在切割辊上的金刚线将方棒切割成方形的硅片,再依次经过清洗、脱胶和插片等步骤。

在通过切片机进行切片之前,先在方棒的侧面涂胶,以使切割得到的硅片粘在晶托组件下方,并不会立刻脱落。经过后续脱胶过程,硅片才逐个脱落。在实际过程中,受脱胶时间、胶层厚度、脱胶温度等影响,硅片的侧面存在残胶,因而需要人工单独对每一片硅片进行擦胶,以去除残胶。但人工擦胶的方式效率较低,且容易损伤硅片。

发明内容

为了解决上述技术缺陷之一,本申请实施例中提供了一种能自动擦胶的脱胶装置。

根据本申请实施例的第一个方面,提供了一种能自动擦胶的脱胶装置,包括:

硅片作业线;所述硅片作业线包括脱胶工位和擦胶工位;所述擦胶工位用于放置经脱胶工位进行脱胶之后得到的硅片;

用于识别硅片残胶的图像采集组件,设置于所述擦胶工位的旁侧;

用于对硅片残胶进行擦除的擦胶机械手机构,设置于所述擦胶工位的旁侧。

如上所述的脱胶装置,所述擦胶机械手机构包括:

擦胶机械手底座;

擦胶机械臂,转动设置于擦胶机械手底座上;所述擦胶机械臂具有至少2个自由度;

擦胶机构,设置于所述擦胶机械臂的工作端。

如上所述的脱胶装置,所述擦胶机构包括:

滚筒支架,设置于所述擦胶机械臂的工作端;

擦胶滚筒,转动设置于所述滚筒支架上。

如上所述的脱胶装置,还包括:

光源,设置于所述滚筒支架上,所述光源的光出射方向朝向待擦胶的硅片;

所述图像采集组件设置于所述滚筒支架上。

如上所述的脱胶装置,多个硅片容置于工装篮中,硅片中有残胶的侧边朝上;所述擦胶工位设有设有中转槽,所述工装篮置于所述中转槽内所述擦胶机械手机构设置于中转槽的旁侧。

如上所述的脱胶装置,还包括:用于抓取工装篮并驱动工装篮在硅片作业线上移动的输送机械手机构。

如上所述的脱胶装置,所述输送机械手机构包括:

沿硅片作业线方向延伸的纵向导轨、垂直于硅片作业线方向的横向导轨、沿竖向方向延伸的竖向导轨;

用于抓取工装篮的夹爪组件;

用于驱动夹爪组件沿竖向导轨移动的竖向驱动器;

用于驱动夹爪组件沿横向导轨移动的横向驱动器;

用于驱动夹爪组件沿纵向导轨移动的纵向驱动器。

如上所述的脱胶装置,所述夹爪组件包括:

工装顶板,与所述竖向驱动器相连;

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