[实用新型]一种高纯磷烷中痕量硫化氢的分析装置

权利要求书

1.一种高纯磷烷中痕量硫化氢的分析装置，其特征在于：包括载气主管、第一气动六通阀，第二气动六通阀，第三气动六通阀、六通接头、三通接头和一个氦离子化检测器，载气主管通过六通阀连接有第一载气管、第二载气管、第三载气管、尾吹气管和放电气管，所述第一气动六通阀、第二气动六通阀及第三气动六通阀上均有六个接口；第一载气管经六通接头连接第一气动六通阀的一号接口，第二载气管经六通接头连接第二气动六通阀的四号接口，第三载气管经六通接头连接第三气动六通阀的四号接口，第一气动六通阀的二号接口和五号接口之间连接有定量环，样品进口管连接第一气动六通阀的三号接口，样品出口管连接第一气动六通通阀的四号接口，第一气动六通阀的六号接口和第二气动六通阀的六号接口之间连接有预分离第一毛细管色谱柱，第二气动六通阀的五号接口和第三气动六通阀的六号接口之间连接有第二毛细管色谱柱，三通接头的第一接口与六通接头连接，三通接头的第二、第三接口分别与第三气动六通阀的六号接口和第二气动六通阀的五号接口连接，氦离子化检测器与第三气动六通阀的五号接口、六通接头连接，第二气动六通阀的一号接口和三号接口用不锈钢管连接，第三气动六通阀的一号接口和三号接口用不锈钢管连接，所述第二气动六通阀的二号接口和第三气动六通阀的二号接口分别经第一针阀、第二针阀连接排空管道，氦离子化检测器经连接管连接排空管道。

2.根据权利要求1所述的一种高纯磷烷中痕量硫化氢的分析装置，其特征在于：所述载气主管上设有稳压阀和纯化器。

3.根据权利要求1所述的一种高纯磷烷中痕量硫化氢的分析装置，其特征在于：所述第一载气管、第二载气管、第三载气管，尾吹气管和放电气管上均设有限流管道。

4.根据权利要求1所述的一种高纯磷烷中痕量硫化氢的分析装置，其特征在于：所述样品出口管和第一气动六通阀的三号接口之间设有一压力传感器，压力传感器的量程为-100-500Kpa。

5.根据权利要求1所述的一种高纯磷烷中痕量硫化氢的分析装置，其特征在于：所述定量环为0.25ml。

6.根据权利要求1所述的一种高纯磷烷中痕量硫化氢的分析装置，其特征在于：所述不锈钢管采用内壁经过钝化处理的1/16不锈钢管道。

7.根据权利要求1所述的一种高纯磷烷中痕量硫化氢的分析装置，其特征在于：所述分析装置中的所有管道均采用防吸附的内涂层钝化管。

8.根据权利要求1所述的一种高纯磷烷中痕量硫化氢的分析装置，其特征在于：所述第一气动六通阀、第二气动六通阀、第三气动六通阀均采用VICI气动六通阀，所述VICI气动六通阀为防吸附的钝化阀。

9.根据权利要求1所述的一种高纯磷烷中痕量硫化氢的分析装置，其特征在于：所述第一毛细管色谱柱、第二毛细管色谱柱使用安捷伦GasPro色谱柱，规格为外径0.32mm长度60米的毛细管色谱柱，可更好的实现磷烷与硫化氢的分离，且对硫化氢无吸附，有很好的惰性。