[实用新型]一种三氟碘甲烷中杂质的分析装置

权利要求书

1.一种三氟碘甲烷中杂质的分析装置，其特征在于：包括第一气动十通阀、第二气动十通阀、载气主管、七通接头、热导检测器一和热导检测器二，所述载气主管通过七通接头连接有第一载气管、第二载气管、第三载气管、第四载气管、第一平衡气管和第二平衡气管，所述第一气动十通阀和第二气动十通阀上均设有十个接口；第一载气管连接第一气动十通阀的一号接口，第二载气管连接第一气动十通阀的八号接口，第三载气管连接第二气动十通阀的一号接口，第四载气管连接第二气动十通阀的八号接口，第一气动十通阀的二号接口和五号接口之间连接有第一定量环，第二气动十通阀的二号接口和五号接口之间连接有第二定量环；样品进口管连接第一气动十通阀的三号接口，样品出口管连接第二气动十通阀的四号接口，第一气动十通阀的十号接口和热导检测器一分析臂之间连接有13X色谱分析柱，第一气动十通阀的六号接口和九号接口之间连接有CST色谱预分离柱，第二气动十通阀的十号接口和热导检测器二分析臂之间连接有P-Q色谱分析柱，第一气动十通阀的六号接口和九号接口之间连接有P-Q色谱预分离柱，第一气动十通阀的四号接口和第二气动十通阀的三号接口用钝化不锈钢管连接，第一气动十通阀的七号接口和第二气动十通阀的七号接口均分别连接管道排空，第一气动十通阀和第二气动十通阀的分析路和平衡路分别连接管道排空。

2.根据权利要求1所述的一种三氟碘甲烷中杂质的分析装置，其特征在于：所述载气主管上设有稳压阀，第一载气管、第二载气管、第三载气管、第四载气管、第一平衡气管和第二平衡气管上均分别设有第二稳流阀，第三稳流阀，第四稳流阀，第五稳流阀、第一稳流阀、第六稳流阀。

3.根据权利要求1所述的一种三氟碘甲烷中杂质的分析装置，其特征在于：所述样品出口管和第二气动十通阀的四号接口之间通过三通接头连接有压力传感器，压力传感器的压力为-100KPa-500KPa。

4.根据权利要求1所述的一种三氟碘甲烷中杂质的分析装置，其特征在于：所述不锈钢管采用内壁经过钝化处理防吸附的内涂层1/16不锈钢钝化管道。

5.根据权利要求1所述的一种三氟碘甲烷中杂质的分析装置，其特征在于：所述气动十通阀采用VICI的钝化气动十通阀。

6.根据权利要求1所述的一种三氟碘甲烷中杂质的分析装置，其特征在于：所述13X色谱分析柱、CST色谱预分离柱、P-Q色谱分析柱、P-Q色谱预分离柱使用内壁经过钝化处理的1/8不锈钢管填充。

7.根据权利要求1所述的一种三氟碘甲烷中杂质的分析装置，其特征在于：所述样品进口管设有用于吹扫样品管路的氦气吹扫装置。

8.根据权利要求1所述的一种三氟碘甲烷中杂质的分析装置，其特征在于：所述样品进口管上设有第一隔膜阀，样品出口管上设有第二隔膜阀。