[实用新型]电池真空设备及翻转机构

权利要求书

1.一种翻转机构，其特征在于，所述翻转机构包括：翻转件、吸附组件与吸盘，所述翻转件与所述吸附组件安装配合，所述翻转件用于带动所述吸附组件翻转动作，所述吸盘上设有气流插件，所述吸盘与所述吸附组件安装配合，所述吸盘用于与硅片的中部部位吸附配合，且所述吸盘通过所述气流插件用于将气流引流至吸盘并从所述吸盘外流形成吸附力。

2.根据权利要求1所述的翻转机构，其特征在于，所述吸附组件包括翻转座、第一安装板与第二安装板，所述吸盘包括第一吸盘与第二吸盘，所述气流插件包括第一插管与第二插管，所述翻转座与所述翻转件安装配合，所述第一安装板的一端与所述翻转座的其中一端安装配合，所述第二安装板的一端与所述翻转座的另一端安装配合，所述第一吸盘与所述第一安装板安装配合，所述第二吸盘与所述第二安装板安装配合，且所述第一吸盘的吸附端与所述第二吸盘的吸附端相向设置，所述第一吸盘通过所述第一插管用于将气流引流至所述第一吸盘并从所述第一吸盘高速外流形成第一吸附力，所述第二吸盘通过所述第二插管用于将气流引流至所述第二吸盘并从所述第二吸盘高速外流形成第二吸附力。

3.根据权利要求2所述的翻转机构，其特征在于，所述第一插管与所述第一吸盘的中心部相连，所述第二插管与所述第二吸盘的中心部相连。

4.根据权利要求2所述的翻转机构，其特征在于，所述翻转机构还包括紧固件，所述翻转座通过所述紧固件与所述翻转件紧固配合。

5.根据权利要求2所述的翻转机构，其特征在于，所述吸附组件还包括第一送气件、第一控制阀与第二控制阀，所述第一送气件装设在所述翻转座上，所述第一送气件通过所述第一控制阀与所述第一插管相连通，所述第一送气件通过所述第二控制阀与所述第二插管相连通。

6.根据权利要求2所述的翻转机构，其特征在于，所述吸附组件还包括第二送气件、第三送气件、第三控制阀与第四控制阀，所述第二送气件与所述第三送气件均装设在所述翻转座上，所述第二送气件通过所述第三控制阀与所述第一插管相连通，所述第三送气件通过所述第四控制阀与所述第二插管相连通。

7.一种电池真空设备，其特征在于，包括权利要求1至6任意一项所述的翻转机构，还包括中控机构与操控台，所述中控机构与所述翻转机构电性连接，所述翻转机构可活动地装设在所述操控台上。

8.根据权利要求7所述的电池真空设备，其特征在于，在所述操控台上设有对射传感器，所述对射传感器与所述中控机构电性连接，所述翻转机构还包括第一定位盘与第二定位盘，所述第一定位盘装设在所述翻转件的一端，所述第二定位盘装设在所述翻转件的另一端，沿所述第一定位盘的周向间隔设有多个第一同心孔，沿所述第二定位盘的周向间隔设有多个第二同心孔，所述第一同心孔用于与所述第二同心孔对位连通，所述对射传感器的对射激光用于穿过所述第一同心孔与所述第二同心孔。

9.根据权利要求8所述的电池真空设备，其特征在于，所述电池真空设备还包括接近感应器，所述接近感应器装设在机台上，所述接近感应器用于检测所述机台上的硅片，且所述接近感应器与所述中控机构电性连接。

10.根据权利要求9所述的电池真空设备，其特征在于，所述中控机构包括编码器与PLC处理器，所述编码器与所述PLC处理器电性连接，所述编码器用于识别所述对射传感器与所述接近感应器的识别信号并通过所述PLC处理器执行。