[实用新型]一种机械移门药气隔断装置有效

专利信息
申请号: 202220820601.7 申请日: 2022-04-11
公开(公告)号: CN217280700U 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 冯志东;王小博;胡大鹏;戴加勇 申请(专利权)人: 上海港麟半导体设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L31/18
代理公司: 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 代理人: 王克兰
地址: 201208 上海市自由*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 机械 移门药气 隔断 装置
【权利要求书】:

1.一种机械移门药气隔断装置,其特征在于:包括气缸驱动机构(1)、移门(2)、固定导向机构(3),所述移门(2)上设有固定导向机构(3),且所述移门(2)通过固定导向机构(3)与气缸驱动机构(1)活动连接。

2.根据权利要求1所述的机械移门药气隔断装置,其特征在于:所述气缸驱动机构(1)包括气缸框架(11)、磁耦无杆气缸(12)、一组直线导轨(13)、一组气缸固定块(14),所述气缸框架(11)内部设有磁耦无杆气缸(12),所述磁耦无杆气缸(12)两端设有气缸固定块(14),且所述磁耦无杆气缸(12)通过气缸固定块(14)与气缸框架(11)固定连接,所述直线导轨(13)设于磁耦无杆气缸(12)两侧的气缸框架(11)上,且与气缸框架(11)固定连接,所述固定导向机构(3)两端与直线导轨(13)滑动式连接。

3.根据权利要求2所述的机械移门药气隔断装置,其特征在于:所述气缸框架(11)包括一组横向固定板(111)和一组纵向固定板(112),所述横向固定板(111)两端设有纵向固定板(112),且上部横向固定板(111)通过纵向固定板(112)与下部横向固定板(111)固定连接,所述直线导轨(13)设于横向固定板(111)上,所述气缸固定块(14)设于纵向固定板(112)上。

4.根据权利要求1所述的机械移门药气隔断装置,其特征在于:所述气缸驱动机构(1)上设有一组感应器支架(15),所述感应器支架(15)设于上部横向固定板(111)上,且位于横向固定板(111)两端。

5.根据权利要求1所述的机械移门药气隔断装置,其特征在于:所述移门(2)包括连接部(21)和移门本体(22),所述连接部(21)设于移门本体(22)的一侧,所述连接部(21)上设有固定导向机构(3),且所述连接部(21)通过固定导向机构(3)与气缸驱动机构(1)活动连接,所述连接部(21)上设有感应块(23),所述感应块(23)设于感应器支架(15)一侧。

6.根据权利要求2所述的机械移门药气隔断装置,其特征在于:所述磁耦无杆气缸(12)包括一组缸体(121)、滑轨(122)、缸体固定板(123)、气缸滑块(124),所述滑轨(122)两端设有缸体(121),且所述滑轨(122)通过缸体(121)与气缸固定块(14)固定连接,所述缸体固定板(123)设于滑轨(122)上方,且连接所述滑轨(122)两端的缸体(121),所述气缸滑块(124)设于滑轨(122),且与固定导向机构(3)固定连接。

7.根据权利要求6所述的机械移门药气隔断装置,其特征在于:所述固定导向机构(3)包括一组滑块(31)、移门固定板(32)、一组锁紧块(33)、一组滑块底座(34),所述移门固定板(32)两侧设有锁紧块(33),且所述移门固定板(32)通过锁紧块(33)与移门(2)固定连接,所述滑块底座(34)设于锁紧块(33)远离移门固定板(32)的一侧,所述滑块(31)设于滑块底座(34)内,所述滑块底座(34)同时与滑块(31)、锁紧块(33)固定连接,所述滑块(31)位于直线导轨(13)上,且与直线导轨(13)活动连接,所述气缸滑块(124)设于移门固定板(32)上,且与移门固定板(32)固定连接。

8.根据权利要求6所述的机械移门药气隔断装置,其特征在于:所述气缸固定块(14)上设有定位销孔(141),所述定位销孔(141)位于缸体(121)两侧。

9.根据权利要求4所述的机械移门药气隔断装置,其特征在于:所述感应器支架(15)包括U型支架(151)、连接座(152)、连接片(153),所述U型支架(151)设于连接片(153)上,且通过连接片(153)与连接座固定连接,所述连接座(152)设于横向固定板(111)上,且与横向固定板(111)固定连接,所述U型支架(151)的敞口朝向移门(2)设置。

10.根据权利要求5所述的机械移门药气隔断装置,其特征在于:所述感应块(23)呈L型,且所述感应块(23)的一端位于U型支架(151)内。

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