[实用新型]用于扫描电镜的位移台机构

说明书

本实用新型公开了一种用于扫描电镜的位移台机构，位移台机构包括：工作台；负载台，所述负载台可移动地设置于所述工作台上；驱动机构和滚珠丝杠组件，所述驱动机构所输出的动力通过所述滚珠丝杠组件传动至所述负载台以控制所述负载台移动；弹性件，所述弹性件张紧连接于所述负载台与所述工作台之间。根据本实用新型的位移台机构消除了滚珠丝杠组件在反向移动过程时的空回行程，提高了负载台移动的稳定性，进一步提高了负载台移动的精度。

技术领域

本实用新型涉及精密仪器领域，尤其是涉及一种用于扫描电镜的位移台机构。

背景技术

相关技术中，扫描电镜设置有精密的位移台结构，位移台上设置有负载台，利用步进电机与滚珠丝杠的配合可以控制负载台的连续移动，这样的位移台结构可实现单个方向精准定位，但是在负载台在丝杠上件反向移动时，丝杠由于自身的结构原因存在一定的空回行程，空回行程导致位移台具有一定的误差，导致扫描电镜在生成图像后存在断面或缺口，这样的位移台结构精密度低，无法满足扫描电镜的工作需求。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出了一种用于扫描电镜的位移台机构。根据本实用新型的位移台机构消除了滚珠丝杠组件在反向移动过程时的空回行程，提高了负载台移动的稳定性，进一步提高了负载台移动的精度。

根据本实用新型的位移台机构包括：工作台；负载台，所述负载台可移动地设置于所述工作台上；驱动机构和滚珠丝杠组件，所述驱动机构所输出的动力通过所述滚珠丝杠组件传动至所述负载台以控制所述负载台移动；弹性件，所述弹性件张紧连接于所述负载台与所述工作台之间。

根据本实用新型的用于扫描电镜的位移台机构，通过设置弹性件消除了滚珠丝杠组件在反向移动过程中存在的空回行程，提高了负载台移动的稳定性，进一步提高了负载台移动的精度，使扫描电镜最终的成像不会产生断面或缺口，改善了扫描电镜的成像精度。

根据本实用新型的一些实施例，所述工作台上设置有第一轨道，所述负载台在第一方向上沿所述第一轨道移动。

根据本实用新型的一些实施例，所述滚珠丝杠组件包括：丝杠，所述丝杠与所述驱动机构相连；螺母，所述螺母与所述负载台相连并与所述丝杠配合，所述螺母在所述丝杠的驱动下沿第一方向移动。

根据本实用新型的一些实施例，所述工作台的两端设置有用于支撑所述丝杠转动的轴承。

根据本实用新型的一些实施例，所述驱动机构构造为步进电机，所述步进电机的输出轴与所述丝杠之间设置有联轴器。

根据本实用新型的一些实施例，位移台机构还包括：限位开关，所述限位开关设置于所述工作台并适于在所述负载台移动到预设位置后控制所述驱动机构。

根据本实用新型的一些实施例，位移台机构还包括：移动台，所述移动台上设置有第二轨道，所述工作台可移动地设置于所述第二轨道上，所述第二轨道在第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向正交。

根据本实用新型的一些实施例，位移台机构还包括：支架，所述支架上设置有第三轨道，所述移动台可移动地设置于所述第三轨道上，所述第三轨道在第三方向延伸，所述第三方向分别与所述第一方向和所述第二方向正交。

根据本实用新型的一些实施例，所述工作台上设置有用于限制线束的线束卡。

根据本实用新型的一些实施例，所述弹性件构造为恒力螺旋弹簧。

综上所述，本实用新型的用于扫描电镜的位移台机构通过设置弹性件可提供恒定拉力，从而消除滚珠丝杠组件在反向移动过程中的空回行程，有效提高负载台移动的稳定性，从而提高负载台移动的精度，通过步进电机搭配滚珠丝杆组件可实现负载台的快速准确移动，通过双导轨结构与双滑块机构的结合可实现位移台机构运动的平稳性与均衡性。