[实用新型]扁平化导轮电机以及硅片切割设备

说明书

一种扁平化导轮电机以及硅片切割设备，所述扁平化导轮电机包括：电机壳体，所述电机壳体中轴线方向设置有容置通道，且所述容置通道外侧环绕设置有环形容置槽；驱动模块，设置在所述环形容置槽内部；转动组件，同轴设置在所述容置通道内部，且所述转动组件与所述驱动模块连接；所述转动组件与所述电机壳体之间设置有轴承组件，所述转动组件可相对于所述电机壳体旋转。与现有技术相比，本实用新型提出的扁平化导轮电机，其内部结构紧凑，将转动组件的旋转主轴设置在电机壳体的容置通道内部，并且直接与驱动模块固定，省略了联轴器的连接结构，缩短导轮电机的轴向尺寸，扩大了导轮电机的可应用范围，尤其是在较扁平的平面空间内的应用。

技术领域

本实用新型属于机械设备技术领域，具体涉及一种扁平化导轮电机以及硅片切割设备。

背景技术

在常见的硅片切割设备中，导轮电机通过联轴器传动外接转动件，在转动件上装配导轮后，通过在多个导轮之间设置切割线，由导轮电机驱动切割线做往返运动，将硅棒切割成所需的晶圆硅片。

但是，由于现有的导轮电机的转动件外置设置，令装配的切割设备的轴向尺寸过大，导致了切割设备应用范围受限的问题。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种具有扁平化导轮电机，以解决现有的导轮电机的转动件外置设置，令装配的切割设备的轴向尺寸过大，导致了切割设备应用范围受限的问题。

本实用新型其中一实施例提供了一种扁平化导轮电机，其特征在于，所述扁平化导轮电机包括：

电机壳体，所述电机壳体中轴线方向设置有容置通道，且所述容置通道外侧环绕设置有环形容置槽；

驱动模块，设置在所述环形容置槽内部；

转动组件，同轴设置在所述容置通道内部，且所述转动组件与所述驱动模块连接；所述转动组件可相对于所述电机壳体旋转；

其中，所述环形容置槽的中心轴与所述电机壳体的中轴线重合。

在其中一个实施例中，所述转动组件包括转动主轴以及设置在所述转动主轴上方的支撑座；所述转动主轴通过轴承组件可转动的嵌套设置在所述容置通道内。

在其中一个实施例中，所述支撑座的支撑端面设置有定位圆柱，所述支撑端面上环绕所述定位圆柱的外侧设置有安装螺孔；所述支撑座的连接端面设置环形凹位；所述驱动模块设置在所述环形凹位内。

在其中一个实施例中，所述电机壳体底部具有与容置通道同轴的凹坑，且凹坑内设置有安装块；所述安装块具有向所述容置通道延伸的凸柱；所述安装块内部具有空腔，且安装块中轴线上具有通孔；所述空腔内设置有编码器；所述转动主轴底部设置有连接轴穿过所述通孔至空腔内；所述连接轴通过螺钉固定连接有对应所述编码器的码盘。

在其中一个实施例中，还包括封盖，固定设置在电机壳体的端面；所述封盖与支撑座接触的端面设置有定位凹槽；所述支撑座与封盖接触的端面设置有定位凸块，所述定位凸块与所述定位凹槽位置相吻合；所述封盖通过定位凹槽与所述支撑座的定位凸块定位安装；

和/或，所述封盖与所述支撑座的接触端面之间形成有迷宫密封间隙。

在其中一个实施例中，所述封盖与电机壳体的接触端面设置有环形卡块，所述封盖通过环形卡块与所述电机壳体定位装配；所述环形卡块的外壁面同轴设置有沟槽，且所述沟槽内设置有密封圈；所述密封圈为O形圈。

在其中一个实施例中，所述电机壳体底部设置有封板，所述封板用于密封所述电机壳体；所述电机壳体与所述封板的接触端面设置有沟槽，且沟槽内设置有密封圈；

和/或，所述封板上贯穿设置有第一线缆接头，且所述第一线缆接头内的线材与编码器电连接；