[实用新型]一种石英炉管结构有效

专利信息
申请号: 202220770819.6 申请日: 2022-04-06
公开(公告)号: CN217686579U 公开(公告)日: 2022-10-28
发明(设计)人: 孙建平;朱国飞;费斌斌 申请(专利权)人: 苏州光协光电科技有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;F27D1/18
代理公司: 苏州曼博专利代理事务所(普通合伙) 32436 代理人: 宋俊华
地址: 215000 江苏省苏州市吴江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 炉管 结构
【权利要求书】:

1.一种石英炉管结构,包括底座、设置在底座上的炉管主体,以及用于封闭炉管主体的管口的炉门;所述炉门与炉管主体之间夹紧有弹性密封环,其特征在于,所述炉管主体的管口端面上设有第一环形槽,所述炉门上设有与第一环形槽相对应的第二环形槽,所述弹性密封环设置在第一环形槽与第二环形槽之间,所述炉门与炉管主体之间留有第一间隙,所述弹性密封环与第二环形槽的内侧槽壁之间留有第二间隙,且第二间隙与第一间隙相连通。

2.根据权利要求1所述的石英炉管结构,其特征在于,所述弹性密封环的截面呈圆形结构。

3.根据权利要求2所述的石英炉管结构,其特征在于,所述第一环形槽的截面呈圆弧形结构。

4.根据权利要求3所述的石英炉管结构,其特征在于,所述第二环形槽的截面呈方形结构。

5.根据权利要求4所述的石英炉管结构,其特征在于,所述炉管主体通过支架与底座固定连接。

6.根据权利要求5所述的石英炉管结构,其特征在于,所述底座上设有炉门驱动机构,该炉门驱动机构包括气缸座和驱动气缸,所述气缸座位于炉门远离炉管主体的一侧,所述驱动气缸固定在气缸座的顶部,且驱动气缸的输出轴通过连接板与炉门固定连接。

7.根据权利要求6所述的石英炉管结构,其特征在于,所述连接板延伸至炉门的下方,所述底座的侧部通过连接块连接有导向杆,该导向杆贯穿连接板,所述连接板设有供导向杆贯穿的滑孔。

8.根据权利要求7所述的石英炉管结构,其特征在于,所述导向杆远离连接块的一端设有限位块。

9.根据权利要求8所述的石英炉管结构,其特征在于,所述炉管主体的内部设有气流腔。

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