[实用新型]一种水冷抛光夹具

权利要求书

1.一种水冷抛光夹具，包括转动轴线沿上下方向延伸的夹具主体(1)，夹具主体(1)的下端具有用于安装待抛光复合片的安装槽(10)，夹具主体(1)的上端对应于安装槽(10)开设有冷却水槽(17)，冷却水槽(17)内的中部位置设置有用于与下压驱动机构连接的连接端；水冷抛光夹具还包括从夹具主体(1)的下方套设在夹具主体(1)外围的环形接水槽(2)，环形接水槽(2)与夹具主体(1)轴向相对固定、周向相对转动的装配在一起，环形接水槽(2)的槽口朝上，环形接水槽(2)上还开设有出水孔(23)；其特征在于，在环形接水槽(2)以上的位置，冷却水槽(17)在周向上的至少部分槽壁为包含水平外延部分和竖向延伸部分的台阶型槽壁，竖向延伸部分在水平外延部分的边缘位置包围所述水平外延部分，所述水平外延部分低于所述冷却水槽(17)的槽口，水平外延部分上设有至少一个过水孔(16)，且过水孔(16)与环形接水槽(2)的槽口上下对应，冷却水槽(17)内的冷却水能够漫到水平外延部分上并通过过水孔(16)向下流到环形接水槽(2)内，并通过环形接水槽(2)上的出水孔(23)向外引流。

2.根据权利要求1所述的水冷抛光夹具，其特征在于，在环形接水槽(2)以上的位置，冷却水槽(17)在周向上的全部槽壁均为包含水平外延部分和竖向延伸部分的台阶型槽壁，而使水平外延部分形成环形边沿(11)，使竖向延伸部分形成环形围壁(12)。

3.根据权利要求2所述的水冷抛光夹具，其特征在于，水平外延部分上的过水孔(16)有多个，且在周向上均布。

4.根据权利要求2所述的水冷抛光夹具，其特征在于，所述环形接水槽(2)的外侧壁与所述环形围壁(12)的外侧壁平齐。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的水冷抛光夹具，其特征在于，所述水平外延部分的下端面上于过水孔(16)的内侧设置有向下延伸的内挡沿(19)、于过水孔(16)的外侧设置有向下延伸的外挡沿(18)，内挡沿(19)和外挡沿(18)为同轴设置的环形结构。

6.根据权利要求5所述的水冷抛光夹具，其特征在于，所述内挡沿(19)和外挡沿(18)的下端均伸入环形接水槽(2)内。

7.根据权利要求1-4任意一项所述的水冷抛光夹具，其特征在于，所述连接端包括由冷却水槽(17)的槽底向上延伸的凸柱(13)，所述凸柱(13)的上端开设有用于供压头伸入的压头槽(14)，所述压头槽(14)的侧壁上开设有止转槽(15)，所述止转槽(15)用于与伸入压头槽(14)中的压头上的止转结构挡止配合以使压头带动夹具主体(1)转动。

8.根据权利要求7所述的水冷抛光夹具，其特征在于，所述凸柱(13)的上端面高于所述水平外延部分的上端面，且低于竖向延伸部分的上端面。

9.根据权利要求1-4任意一项所述的水冷抛光夹具，其特征在于，所述环形接水槽(2)的外侧槽壁(21)上开设有安装孔，安装孔中连接有悬伸至径向外侧的固定杆(3)，通过固定杆(3)与水冷抛光设备的其他固定结构的配合实现对环形接水槽(2)的固定。

10.根据权利要求9所述的水冷抛光夹具，其特征在于，所述环形接水槽(2)的槽壁为薄壁结构，所述安装孔为贯通外侧槽壁(21)的通孔，所述通孔靠近环形接水槽(2)的槽口位置。