[实用新型]一种真空镀膜机用装载架有效
| 申请号： | 202220747713.4 | 申请日： | 2022-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN216972670U | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 顾晓雷;姜沁雨 | 申请（专利权）人： | 玛奇纳米科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 装载 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜机用装载架，包括安装板（1），其特征在于：所述安装板（1）的下端安装有安装箱（2），所述安装箱（2）的内壁安装有伺服电机（3），所述伺服电机（3）输出端通过联轴器传动连接有传动轴（4），所述传动轴（4）延伸至安装板（1）上方的侧壁安装有支撑板（6），所述安装板（1）的上端设有转动槽（12），所述转动槽（12）转动连接有支撑球（5），所述支撑板（6）的上端安装有多个外撑三角板（7）和多个内撑三角板（8），所述外撑三角板（7）和内撑三角板（8）的上端安装有放置板（10），所述内撑三角板（8）的侧壁安装有限位筒（9），所述传动轴（4）贯穿限位筒（9）内的至其上方的一端安装放置板（10）。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用装载架，其特征在于：所述安装板（1）的侧壁开设有安装孔（11），所述安装孔（11）螺纹连接有螺栓。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用装载架，其特征在于：所述支撑板（6）的下端开设有多个限位转槽，所述限位转槽转动连接支撑球（5）。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用装载架，其特征在于：所述放置板（10）的上端开设有放置槽。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用装载架，其特征在于：所述限位筒（9）开设有内腔，且内腔的内壁光滑处理。
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