[实用新型]一种激光雷达纵向扫描高反膜

说明书

本实用新型属于一种激光雷达纵向扫描高反膜，其特征在于，包括基底以及在其表面交替复合的高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L；其膜结构为：sub/L(HL)^m(aHaL)^n(HL)^kL/Air；所述的m、n、k为H和L重复复合的系数；其中，m为19～25的整数；所述的n为27～33的整数；所述的k为19～25的整数；所述的a为光学厚度系数，a为1.1～1.3；所述的sub为基底，所述的Air为空气。本实用新型研究发现，采用所述的特殊的膜系结构，能够意外地显著改善激光纵向扫描的反射性能。

技术领域

本实用新型涉及激光雷达技术领域，尤其涉及一种激光雷达大角度纵向扫描高反膜。

背景技术

车载激光雷达的工作原理是通过向目标发射(激光束)，将接收到的从目标反射回来的目标回波与发射信号进行比较，从而探测目标的位置、速度等特征量的雷达系统。

对于车载激光雷达系统内的反射镜而言，其中反射膜的反射性能也会直接影响车载激光雷达信号的发射与接受。随着激光应用的日趋广泛，激光雷达中的反射镜要求反射膜具有更高的反射率和更小的吸收损失，除此之外，优化反射膜结构，镀制光源入射角的的不同反射率依旧维持高水平的高反射膜也是提高车载激光雷达性能的重要环节。

目前市场上大多数激光雷达的激光发射单元在振荡的同时进行水平旋转扫描，实现水平方向的信息扫描。在纵向方向的扫描角度很小，而且价格非常昂贵。因此，如何使用单激光波长实现大角度纵向扫描是车载激光雷达急需解决的一个重要问题。

实用新型内容

为解决现有激光雷达反射膜纵向扫描反射性能不理想的问题，本实用新型的目的在于，提供一种激光雷达纵向扫描高反膜，旨在改善纵向大角度扫描反射性能。

一种激光雷达纵向扫描高反膜，包括基底以及在其表面交替复合的高折射率材料膜层H和低折射率材料膜层L；其膜结构为： sub/L(HL)^m(aHaL)^n(HL)^kL/Air；

所述的m、n、k为H和L重复复合的系数；其中，m为19～25的整数；所述的n为27～33的整数；所述的k为19～25的整数；

所述的a为光学厚度系数，a为1.1～1.3；

所述的sub为基底，所述的Air为空气。

本实用新型研究发现，采用所述的特殊的膜系结构，以L为底层和表面，配合所述的第一膜系((HL)m)-第二膜系(a(HL)n)-第三膜系((HL)^k)的联合，能够意外地显著改善激光纵向扫描的反射性能。

本实用新型所述的高反膜，其由高折射率材料和低折射率材料按所述的膜结构叠置而成。其中，HL指一个光学厚度的高折射率材料膜层和低折射率材料膜层复合结构。所述的aHaL(也称为a(HL))指a个光学厚度的HL叠置的复合结构。1/4光学厚度计算公式为：0.25λ₀/nH/L，λ₀为中心波长，nH/L为高低折射率材料在中心波长处的折射率。

本实用新型中，所述的高折射率材料和低折射率材料可采用行业内公知的成分。

作为优选，高折射率材料的折射率为2～2.2。所述的折射率为在800～1000nm 波段激发下的折射率。进一步优选，所述的高折射率材料的折射率为Ta₂O₅。

作为优选地，所述的低折射率材料的折射率为1.5～1.8。所述的折射率为在 800～1000nm波段激发下的折射率。进一步优选，所述的低折射率材料为 MgAl₂O₄。

本发明中，所述的基底(sub)可以是行业内已知的材料，例如为Ge、K9 玻璃或熔融石英板。

作为优选，所述的激光雷达纵向扫描高反膜为在波长为800～1000nm波段激发下的高反膜。