[实用新型]一种用于精密仪器的可调节高度的基座

说明书

本实用新型提供了一种用于精密仪器的可调节高度的基座，包括顶板、钢构框架和支腿，所述钢构框架连接在顶板底部，所述钢构框架底部连接有支腿，所述支腿底部连接有封头板，所述封头板栓接有脚杯，所述脚杯包括底座和支撑杆，所述支撑杆焊接在底座顶部中间，所述支撑杆上部设有螺纹，所述支撑杆与底座连接部位焊接有调节螺母，所述支撑杆套装有锁紧螺母。本实用新型通过脚杯的设计，实现对基座的高度调整，基座安装简单方便，且稳定性好，降低了安装成本，同时避免了因基座上部设备振动造成的基座松动等问题，减少了基座维修，保证了设备的正常连续工作。

技术领域

本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种用于精密仪器的可调节高度的基座。

背景技术

目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。目前通常采用钢构或混凝土基座进行隔振。

由于洁净室的地面不平整，传统的钢构基座在安装时，通常采用垫片调节基座的高度，这种基座高度的调节方式需要反复调整垫片的厚度，安装繁琐，且后期基座上部设备生产时产生的震动，会造成垫片的松动，需要进行维修，不仅产生维修成本，且影响生产。

实用新型内容

实用新型的目的在于提供一种用于精密仪器的可调节高度的基座，以解决上述背景技术中存在的问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种用于精密仪器的可调节高度的基座，包括顶板、钢构框架和支腿，所述钢构框架连接在顶板底部，所述钢构框架底部连接有支腿，所述支腿底部连接有封头板，所述封头板栓接有脚杯，所述脚杯包括底座和支撑杆，所述支撑杆焊接在底座顶部中间，所述支撑杆上部设有螺纹，所述支撑杆与底座连接部位焊接有调节螺母，所述支撑杆套装有锁紧螺母。

进一步地，所述顶板由不锈钢板制成矩形结构，所述顶板上开设有矩形通孔。

进一步地，所述钢构框架由方形钢管焊接成矩形结构。

进一步地，所述支腿由方形钢管制成。

进一步地，所述支腿之间焊接有横梁，所述横梁由方形钢管制成。

进一步地，所述封头板中间部位开设有内螺纹孔。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过脚杯的设计，实现对基座的高度调整，基座安装简单方便，且稳定性好，降低了安装成本，同时避免了因基座上部设备振动造成的基座松动等问题，减少了基座维修，保证了设备的正常连续工作。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的脚杯结构示意图。

图3为本实用新型的封头板结构示意图。

图中1-顶板，101-通孔，2-钢构框架，3-支腿，4-封头板，401-内螺纹孔，5-脚杯，501-底座，502-支撑杆，503-螺纹，504-调节螺母，505-锁紧螺母，6-横梁。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。