[实用新型]一种石墨基板上的烧结碳化钽涂层制备设备有效
| 申请号： | 202220631373.9 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN217043118U | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 丁柳宁;周李伟 | 申请（专利权）人： | 浙江六方碳素科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B16/60 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 基板上 烧结 碳化 涂层 制备 设备 | ||
1.一种石墨基板上的烧结碳化钽涂层制备设备，包括箱体(1)、涂料混合箱(22)、喷涂组件、支撑架(3)和温度调节器(6)，箱体(1)上设置有进气口(13)和出气口(14)，其特征在于：所述箱体(1)内壁上设置有环形布置的喷管(2)，喷管(2)上周向均布有多个喷嘴(21)，喷管(2)和外部的涂料混合箱(22)相连，支撑架(3)和一旋转升降机构(4)连接，旋转升降机构(4)包括升降缸(42)、旋转电机(43)、安装板(41)和连接轴(44)，连接轴(44)和支撑架(3)相连并转动设置于安装板(41)上，旋转电机(43)固定于安装板(41)上，旋转电机(43)输出端和连接轴(44)通过齿轮或者皮带传动连接，升降缸(42)设置于安装板(41)的下方，升降缸(42)的输出端和安装板(41)连接。
2.根据权利要求1所述的石墨基板上的烧结碳化钽涂层制备设备，其特征在于：所述箱体(1)进气口处设置有一气流扩散器(5)，气流扩散器(5)包括内层网罩(51)、外层网罩(52)和安装环(53)，安装环(53)的一端和进气口(13)相连，内层网罩(51)和外层网罩(52)设置于安装环(53)的另一端，内层网罩(51)且/或外层网罩(52)转动设置于安装环(53)上。
3.根据权利要求1所述的石墨基板上的烧结碳化钽涂层制备设备，其特征在于：所述箱体(1)包括内层箱体(11)和外层箱体(12)，温度调节器(6)呈环形结构设置于内层箱体(11)和外层箱体(12)之间。
4.根据权利要求1所述的石墨基板上的烧结碳化钽涂层制备设备，其特征在于：所述箱体(1)内壁上开设有环形凹槽，喷管(2)安装于环形凹槽内。
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