[实用新型]桥面、像元结构和芯片有效

专利信息
申请号: 202220607684.1 申请日: 2022-03-18
公开(公告)号: CN217062118U 公开(公告)日: 2022-07-26
发明(设计)人: 蒋康力;刘建华;丁金玲 申请(专利权)人: 杭州海康微影传感科技有限公司
主分类号: H01L31/08 分类号: H01L31/08;H01L31/0232;B81B7/02
代理公司: 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 代理人: 潘烨
地址: 311501 浙江省杭州市桐*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 桥面 结构 芯片
【说明书】:

本申请提供一种桥面、像元结构和芯片,桥面其包括转化元件和聚光元件。其中,转化元件用于接收光信号,并用于将所述光信号转化为电信号;聚光元件用于吸引光信号;沿所述桥面的厚度方向,所述聚光元件投影和所述转化元件的投影存在重叠部分。本实用新型桥面中的转化元件可吸收光信号,并引起自身温度的变化,从而使得自身的电学参数发生变化,进而实现将光信号转化为电信号;聚光元件可吸引较多的光信号,使得位于其周侧的转化元件能够接受到更多的光信号,从而提升了芯片对光信号的有效吸收率,进而提升了芯片检测的精准度。

技术领域

本实用新型涉及光信号探测领域,特别是涉及一种桥面、像元结构和芯片。

背景技术

应用于红外探测器的封装装置包括微机电系统芯片 (Microelectromechanicalsystems,简称MEMS),该芯片包括用于探测红外信号的像元结构和控制结构。

具体的,像元结构中的部分结构可将红外光信号能转换成热能,从而引起敏感元件温度上升。由于温度的变化,敏感元件的某个电学参数随之发生变化,之后,再通过控制结构对该信号的转化和计算实现对物体的探测。

然而,现有的MEMS红外探测器的对红外光的吸收率较低。

实用新型内容

本申请实施例的第一方面提供了一种桥面,所述桥面包括:

转化元件,用于接收光信号,并用于将所述光信号转化为电信号;

聚光元件,用于吸引光信号;沿所述桥面的厚度方向,所述聚光元件投影和所述转化元件的投影存在重叠部分。

在一个实施例中,所述桥面还包括传导元件,所述传导元件电连接于所述转化元件,并用于传导所述电信号;

所述传导元件的至少部分结构与所述聚光元件同层设置。

在一个实施例中,沿所述桥面的厚度方向,所述传导元件的投影的至少部分与所述转化元件的投影重合;

将所述传导元件和所述转化元件的投影的重叠面积作为第一面积,将所述转化元件的投影面积作为第二面积,所述第一面积和所述第二面积的比值大于等于0.1,并且,小于等于0.5。

在一个实施例中,所述传导元件和所述聚光元件的材质相同。

在一个实施例中,所述转化元件包括:

吸收层,用于接收光信息,所述吸收层的温度与所述光信号的强度呈正相关;沿所述桥面的厚度方向,所述吸收层的投影与所述聚光元件的投影存在重叠部分;

热敏层,与所述吸收层接触,并用于于所述吸收层进行热交换;所述热敏层还用于将自身的温度信号转化为电信号。

在一个实施例中,沿所述厚度方向,所述聚光元件的投影和所述吸收层的投影存在交叉部分,或者,所述聚光元件的投影被所述吸收层的投影包裹。

在一个实施例中,当所述聚光元件的投影被所述吸收层的投影包裹时,所述聚光元件的投影位于所聚光元件的投影的中心区域。

在一个实施例中,所述热敏层的电阻值与所述热敏层的温度信号呈正相关或负相关。

在一个实施例中,沿所述厚度方向,所述转化元件的投影面积作为第二面积,所述聚光元件的投影面积作为第三面积;

所述第三面积与所述第二面积的比值大于0.2,并且,小于等于0.35。

在一个实施例中,沿所述厚度方向,所述聚光元件的投影形状呈长方形,所述长方形的短边与长边的比值大于等于0.4;或者,

沿所述厚度方向,所述聚光元件的投影形状呈正方形。

本申请实施例的第二方面提供了一种像元结构,所述像元结构包括桥臂和上述的桥面;

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