[实用新型]一种用于调节半导体阀门位置的夹具

权利要求书

1.一种用于调节半导体阀门位置的夹具，其特征在于：包括连接体(1)，所述连接体(1)包括固定块(2)与卡接组件(3)，所述卡接组件(3)设置在固定块(2)外侧壁上，所述卡接组件(3)用于包裹真空阀门外侧壁，所述固定块(2)的底壁用于抵接真空阀门顶部，所述固定块(2)底部中心出设置有让位凹槽(4)；

所述卡接组件(3)包括固定卡接块(31)与调节卡接块(32)，所述固定卡接块(31)与调节卡接块(32)的底部均设有卡爪(33)，所述调节卡接块(32)的侧壁上设有调节螺杆(321)，所述固定块(2)的侧壁上设有供调节螺杆(321)穿设的调节螺孔(322)，所述调节螺杆(321)上设有螺纹连接的调节螺母(323)；

所述让位凹槽(4)用于包裹真空阀门顶部数据线。

2.根据权利要求1所述的一种用于调节半导体阀门位置的夹具，其特征在于：所述调节卡接块(32)上设有调节件(34)，所述调节件(34)包括套设在调节螺杆(321)上的调节弹簧(341)，所述调节螺孔(322)设置为阶梯状，所述调节螺孔(322)包括调节孔(36)与固定孔(37)，所述调节弹簧(341)设置的调节孔(36)内。

3.根据权利要求2所述的一种用于调节半导体阀门位置的夹具，其特征在于：所述调节件(34)还包括设置在调节卡接块(32)侧壁上的调节块(342)，所述调节块(342)穿设在调节螺杆(321)上，所述调节块(342)上设有供调节螺杆(321)穿设的安装孔(343)。

4.根据权利要求3所述的一种用于调节半导体阀门位置的夹具，其特征在于：所述调节块(342)的侧壁上还有橡胶层(344)。

5.根据权利要求1所述的一种用于调节半导体阀门位置的夹具，其特征在于：所述卡爪(33)上用于夹持真空阀门的一侧设有保护垫(331)。

6.根据权利要求1所述的一种用于调节半导体阀门位置的夹具，其特征在于：所述让位凹槽(4)包括设置在固定块(2)中心轴处的圆形凹槽(41)，还包括连通圆形凹槽(41)的直线凹槽(42)。

7.根据权利要求1所述的一种用于调节半导体阀门位置的夹具，其特征在于：所述连接体(1)的外周侧设置有均匀分布的定位凹槽(5)，所述定位凹槽(5)用于拆卸底部真空阀门。

8.根据权利要求7所述的一种用于调节半导体阀门位置的夹具，其特征在于：所述连接体(1)的底部设置有缓冲橡胶垫(11)。