[实用新型]亚大气压化学气相沉积设备的气压控制系统

权利要求书

1.一种亚大气压化学气相沉积设备的气压控制系统，其特征在于，包括：

反应腔；

承载台，设置在所述反应腔中，所述承载台承载晶圆；

第一干式真空泵，通过第一管路与所述反应腔相连通，所述第一干式真空泵抽取所述反应腔中的气体；以及

第二干式真空泵，通过第二管路与所述承载台相连通，所述第二干式真空泵抽取所述承载台上的所述晶圆背面的气体，以将所述晶圆吸附于所述承载台上。

2.根据权利要求1所述的气压控制系统，其特征在于，所述气压控制系统还包括：

第一气动阀，设置在所述第二管路上，用于控制所述第二管路的通断。

3.根据权利要求1所述的气压控制系统，其特征在于，所述气压控制系统还包括：

节流阀，设置在所述第一管路上，用于控制所述反应腔中气压的大小。

4.根据权利要求1所述的气压控制系统，其特征在于，所述气压控制系统还包括：

第一气压检测表，与所述反应腔相连接，用于检测所述反应腔中的气压值。

5.根据权利要求1所述的气压控制系统，其特征在于，所述承载台中设置有若干吸附孔，以将所述晶圆吸附固定在所述承载台的表面上。

6.根据权利要求1所述的气压控制系统，其特征在于，所述气压控制系统还包括：

第一隔离阀，设置在所述第一管路上，用于控制所述第一管路的通断。

7.根据权利要求1所述的气压控制系统，其特征在于，所述气压控制系统包括两个所述承载台；

所述第二管路包括：

主管路，所述主管路的第一端与所述第二干式真空泵相连接；

两个子管路，所述子管路的第一端与所述主管路的第二端相连接，不同的所述子管路的第二端与对应的所述承载台相连通。

8.根据权利要求7所述的气压控制系统，其特征在于，所述气压控制系统还包括：

第一子管路气动阀，设置在所述第一子管路上，所述第一子管路气动阀控制所述第一子管路的通断；

第二子管路气动阀，设置在所述第二子管路上，所述第二子管路气动阀控制所述第二子管路的通断。

9.根据权利要求1所述的气压控制系统，其特征在于，所述气压控制系统还包括：

第三管路，所述第三管路的第一端与所述第一管路相连通，所述第三管路的第二端与所述第二管路相连通；

第二气动阀，设置在所述第三管路上，用于控制所述第三管路的通断。

10.根据权利要求9所述的气压控制系统，其特征在于，所述气压控制系统还包括：

第二气压检测表，与所述第一管路相连接，用于检测所述第一管路、所述第二管路中的气压。