[实用新型]一种用于晶圆测试的快速矫正治具

权利要求书

1.一种用于晶圆测试的快速矫正治具，包括圆座(1)，其特征在于：所述圆座(1)的内部设置有夹持机构(2)，所述夹持机构(2)包括开设在圆座(1)内部的第一方形槽(21)，所述第一方形槽(21)的底部固定连接有两组滑轨(22)，所述滑轨(22)的外侧活动连接有T形架(23)，所述圆座(1)的上端靠近T形架(23)的位置开设有第一滑槽(24)，所述T形架(23)的一端固定连接有连接轴(25)，所述第一方形槽(21)的中间位置设置有活动板(26)，所述活动板(26)的上端固定连接有两组固定轴(27)，所述固定轴(27)与连接轴(25)之间活动连接有连接杆(28)，所述活动板(26)的中心位置固定连接有转动轴(29)，所述转动轴(29)的外侧位置固定连接有涡轮(210)，所述圆座(1)的内部靠近涡轮(210)的位置开设有安装槽(211)，所述涡轮(210)一侧活动连接有蜗杆(212)，所述蜗杆(212)前端固定连接有旋钮(213)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆测试的快速矫正治具，其特征在于：两组所述滑轨(22)分别位于第一方形槽(21)的两侧位置，所述T形架(23)与第一滑槽(24)相适配，所述连接轴(25)位于T形架(23)的一端靠近下侧位置。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆测试的快速矫正治具，其特征在于：两组所述固定轴(27)分别位于活动板(26)的上端靠近两侧位置，所述转动轴(29)与圆座(1)为活动连接，所述涡轮(210)与蜗杆(212)相互啮合。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆测试的快速矫正治具，其特征在于：所述蜗杆(212)贯穿圆座(1)的前侧内部，所述蜗杆(212)与圆座(1)为活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆测试的快速矫正治具，其特征在于：所述圆座(1)的前后两侧内部分别开设有第二方形槽(3)，所述第二方形槽(3)的内部设置有活动杆(4)，所述活动杆(4)与第二方形槽(3)的内壁之间固定连接有弹簧(5)，所述活动杆(4)的上端固定连接有弹簧(5)，所述圆座(1)的上端靠近固定架(6)的位置开设有两组第二滑槽(7)，所述固定架(6)的内部活动连接有活动块(8)。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆测试的快速矫正治具，其特征在于：两组所述第二方形槽(3)分别位于圆座(1)的内部靠近前后两侧位置，所述活动杆(4)与第二方形槽(3)为活动连接，所述弹簧(5)的数量为三组，所述固定架(6)与两组第二滑槽(7)相适配，两组所述活动块(8)为镜面对称。