[实用新型]一种用于磷化铟加工用的清洗装置

说明书

本实用新型涉及磷化铟技术领域，尤其涉及一种用于磷化铟加工用的清洗装置。其技术方案包括：底箱、蓄液箱和集液箱，底箱的外部一侧安装有空气除味器，底箱的底部安装有底板，底箱的内部安装有集液箱，集液箱的顶部安装有排液管，集液箱的顶部一侧安装有排气管，且排气管与空气除味器连接，底箱的顶部安装有顶箱，顶箱内部的顶部安装有喷淋架，顶箱的内部两侧安装有隔板，隔板的一侧安装有加热丝，顶箱的顶部安装有蓄液箱。本实用新型通过在隔板的一侧安装有加热丝，利用加热丝的通电运行可将电能转换为热能，可使顶箱的内部进行升温，使磷化铟的清洗环境达到指定温度，加快磷化铟表面杂质与清洗液的化学反应，保证清洗效果。

技术领域

本实用新型涉及磷化铟技术领域，具体为一种用于磷化铟加工用的清洗装置。

背景技术

磷化铟是一种化学物质，是沥青光泽的深灰色晶体，通常用作半导体材料，用于光纤通信技术等，而磷化铟在生产加工过程中，磷化铟材料表面容易被杂质玷污，会直接影响磷化铟的物理特性，为了对磷化铟表面进行清洗，为此提出一种用于磷化铟加工用的清洗装置。

经检索，专利公告号为CN213287900U公开一种磷化铟晶体生长除杂装置，包括固定底板，所述固定底板的顶部固定连接有水箱，所述水箱的右侧固定连接有导管，所述导管的外部固定安装有控制阀，所述固定底板的顶部固定连接有位于水箱外侧的支撑板，所述支撑板的内侧固定连接有顶板，所述顶板的顶部固定安装有电动推杆，所述顶板的顶部固定安装有位于电动推杆左侧的控制台。

现有的用于磷化铟加工用的清洗装置存在的缺陷是：

1、现有的用于磷化铟加工用的清洗装置在使用合成清洗剂清洗磷化铟时，无法对磷化铟的清洗环境进行升温，清洗剂与磷化铟表面的化学反应较慢，导致清洗时间较长，清洗效果一般；

2、现有的用于磷化铟加工用的清洗装置在对磷化铟进行清洗时，因酸洗过程中因化学反应会产生刺鼻气体，给工作人员造成不适，不利于工作人员进行操作，为此我们提出一种用于磷化铟加工用的清洗装置来解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于磷化铟加工用的清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于磷化铟加工用的清洗装置，包括底箱、蓄液箱和集液箱，所述底箱的外部一侧安装有空气除味器，所述底箱的底部安装有底板，所述底箱的内部安装有集液箱，所述集液箱的顶部安装有排液管，所述集液箱的顶部一侧安装有排气管，且排气管与空气除味器连接，所述底箱的顶部安装有顶箱，所述顶箱内部的顶部安装有喷淋架，所述顶箱的内部两侧安装有隔板，所述隔板的一侧安装有加热丝，所述顶箱的顶部安装有蓄液箱。

使用装置对磷化铟进行清洗时，利用滑架可提供磷化铟的放置位置，利用蓄液箱可提供清洗液的储存位置，利用水泵的通电运行可将蓄液箱内部的清洗液泵入至喷淋架，通过喷淋架可对清洗液进行均匀喷洒，利用加热丝的通电运行可将电能转换为热能，可使顶箱的内部进行升温，使磷化铟的清洗环境达到指定温度，加快磷化铟表面杂质与清洗液的化学反应，保证清洗效果，而清洗后的水液可经排液管流入集液箱的内部，而清洗液的挥发气体可由排气管被空气除味器进行除味并排出，可减少装置排出的刺鼻气体，提高工作人员操作装置时定的舒适性。

优选的，所述底板的底部两侧安装有两组支腿，且支腿的底部安装有脚垫。利用支腿与脚垫的配合可便于将装置稳定的放置在指定位置。

优选的，所述底箱的外部一侧安装有控制器，且底箱的正面通过合页安装有第一箱门。利用控制器可便于工作人员对装置的运行参数进行设定，利用第一箱门的开合可便于工作人员取出底箱内部构件。

优选的，所述顶箱的正面通过合页安装有第二箱门，且第二箱门的正面安装有视窗。利用第二箱门的开合可便于工作人员取出滑架，利用视窗可便于工作人员查看装置内部的清洗状态，利用视窗可便于工作人员从装置外部对装置内部进行观察。