[实用新型]防绕镀装置及镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202220505842.2 申请日: 2022-03-08
公开(公告)号: CN217378011U 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 余仲;卢贤正 申请(专利权)人: 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/56;C23C14/54
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 张英凤
地址: 518118 广东省深圳市坪山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 防绕镀 装置 镀膜 设备
【说明书】:

实用新型公开了一种防绕镀装置及镀膜设备,防绕镀装置包括防着门与导轮,防着门与镀膜装置转动连接,且转动轴线与镀膜载具的传输方向垂直,导轮转动连接于防着门的下部,导轮受镀膜载具的推动沿镀膜载具的上平面转动,防着门能够绕与镀膜装置的转动连接处摆动,而打开传输口,或者脱离镀膜载具的推动,而回摆并封堵传输口;镀膜设备包括上述的防绕镀装置。本实用新型中,防着门受镀膜载具的推力而摆动,并在自重下回摆而封堵传输口,从而实现传输口在镀膜载具在进出镀膜腔过程中打开,并在输送完成后关闭的效果,实现对镀膜腔的隔离,能够有效防止绕镀,增大腔体内防着板的维护周期,提升镀膜设备的上线时间。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域,尤其涉及一种防绕镀装置及镀膜设备。

背景技术

待镀件的镀膜过程通常在镀膜腔内进行,待镀件在输送及镀膜过程中,镀膜源持续工作,蒸镀的薄膜离子从镀膜腔绕镀至其他腔体,相关技术中,在各腔体内设置固定式的防着板,用于附着绕镀的材料粒子,当防着板上附着的薄膜过多时,薄膜吸附水汽,或者掉落并产生大量粉尘,造成镀膜品质下降,并且,由于防着板需完整覆盖腔体内表面,其面积较大,后期清理与维护较为困难,影响镀膜设备的上线时间。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型提出一种防绕镀装置,能够有效防止绕镀,并提升镀膜设备上线时间。

本实用新型还提出一种具有上述防绕镀装置的镀膜设备。

根据本实用新型的第一方面实施例的防绕镀装置,用于镀膜装置,所述镀膜装置的内部具有镀膜腔,所述镀膜装置的侧部设置有与所述镀膜腔连通的传输口,所述传输口用于传输镀膜载具,包括:

防着门,上部与所述镀膜装置转动连接,且转动轴线与所述镀膜载具的传输方向垂直;

导轮,至少设置有两个且转动连接于所述防着门的下部,所述导轮分设于所述防着门的两端;

其中,所述导轮的外边缘相对于所述防着门的边缘突出,所述导轮受所述镀膜载具的推动沿所述镀膜载具的上平面转动,所述防着门能够绕与所述镀膜装置的转动连接处摆动,而打开所述传输口,或者脱离所述镀膜载具的推动,而回摆并封堵所述传输口。

根据本实用新型实施例的防绕镀装置,至少具有如下有益效果:

本实用新型实施例中提供的防绕镀装置,防着门受镀膜载具的推力而摆动,镀膜载具传输过程中,能够顶开防着门,将传输口打开,便于镀膜载具将待镀件带入镀膜腔内镀膜,镀膜载具与导轮脱离后,防着门由于自重回摆而封堵传输口,从而实现传输口在镀膜载具在进出镀膜腔过程中打开,并在输送完成后关闭的效果,实现对镀膜腔的隔离,能够有效防止绕镀,增大腔体内防着板的维护周期,提升镀膜设备的上线时间。

根据本实用新型的一些实施例,所述导轮位于所述防着门的正下方。

根据本实用新型的一些实施例,还包括支撑架,所述支撑架的一端连接于所述防着门的底部,并朝向和/或背离所述镀膜载具的传输方向设置,所述导轮转动连接于所述支撑架的另一端。

根据本实用新型的一些实施例,还包括转轴,所述转轴突出设置于所述防着门的两端,所述转轴与所述镀膜装置转动连接。

根据本实用新型的一些实施例,所述防着门设置有多个气孔,与所述镀膜腔相邻的腔体通过所述气孔与所述镀膜腔连通。

根据本实用新型的第二方面实施例的镀膜设备,包括:

至少一个第一方面实施例的防绕镀装置;

镀膜装置,包括镀膜主体与至少一个的传输主体,所述传输主体位于所述镀膜主体的侧部,所述镀膜主体的内部具有所述镀膜腔,所述传输主体的内部具有传输腔,至少所述镀膜主体的一侧设置有所述传输口,所述镀膜腔与所述传输腔通过所述传输口连通,所述防绕镀装置安装于所述传输口处。

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