[实用新型]离子装载的光路装置

权利要求书

1.一种离子装载的光路装置，其特征在于，包括：

真空腔体，所述真空腔体内设有离子阱，所述真空腔体上形成有透光视窗；

合束模块，所述合束模块设于所述真空腔体外侧且所述透光视窗间隔相对设置，所述合束模块用于将电离光和扩展光进行合束；和

反射件，所述反射件设置在所述合束模块和所述透光视窗之间，所述反射件形成有反射区和透光区，从所述合束模块出射后的光通过所述透光区射向所述透光视窗后射入所述真空腔体内并射向所述离子阱，所述反射区用于将射向所述反射区的烧蚀光反射至所述透光视窗以射入至所述真空腔体内。

2.根据权利要求1所述的离子装载的光路装置，其特征在于，所述反射件为D形反射镜，所述D形反射镜避让从所述合束模块出射的光线。

3.根据权利要求1所述的离子装载的光路装置，其特征在于，所述反射件为反射镜，所述反射镜上开设有透光孔，所述透光孔作为所述透光区。

4.根据权利要求1所述的离子装载的光路装置，其特征在于，所述反射件为反射镜，所述反射镜上形成有缺口槽，所述缺口槽作为所述透光区。

5.根据权利要求1所述的离子装载的光路装置，其特征在于，所述反射件包括相背的第一面和第二面，从所述合束模块出射的光线从所述第一面所在的一侧射向所述透光区，所述烧蚀光从所述第二面所在的一侧射向所述反射区。

6.根据权利要求1所述的离子装载的光路装置，其特征在于，所述扩展光包括冷却光和回泵光中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的离子装载的光路装置，其特征在于，所述真空腔体为金属腔体。

8.根据权利要求1所述的离子装载的光路装置，其特征在于，所述真空腔体内还设有靶材，所述靶材与所述离子阱间隔设置，射入所述真空腔体内的所述烧蚀光射向所述靶材以将所述靶材中的原子烧蚀出来并喷向所述离子阱。

9.根据权利要求1所述的离子装载的光路装置，其特征在于，所述真空腔体为八边形腔体，所述透光视窗形成在所述八边形腔体的任意一个边上。

10.根据权利要求1所述的离子装载的光路装置，其特征在于，所述真空腔体的真空度小于1*10^-8Pa。