[实用新型]一种陶瓷真空吸盘有效

专利信息
申请号: 202220440306.9 申请日: 2022-03-02
公开(公告)号: CN216849890U 公开(公告)日: 2022-06-28
发明(设计)人: 赵振;马松华;谢洁;咸杏娟 申请(专利权)人: 宜兴市九荣特种陶瓷有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 代理人: 王建文
地址: 214222 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 陶瓷 真空 吸盘
【说明书】:

实用新型涉及一种真空吸盘,尤其是一种陶瓷真空吸盘,包括采用陶瓷制成的吸盘本体,所述吸盘本体的吸附面设有若干抽气槽,所述抽气槽的底部设有连通孔,所述吸盘本体的一端设有吸气孔,所述吸气孔与所述连通孔相通。本实用新型提供的一种陶瓷真空吸盘重量轻、耐磨、并且不会污染硅片、使用寿命长、无需频繁检测和维护。

技术领域

本实用新型涉及一种真空吸盘,尤其是一种陶瓷真空吸盘。

背景技术

太阳能光伏发电主要通过利用硅等半导体材料制成太阳能板,利用光照产生直流电,而太阳能发电主要用的是硅片,所以硅片的生产尤为重要,硅片的质量好坏直接决定了发电量的多少和硅片的寿命。硅片的生产都实现了全自动化生产,在硅片转运过程是靠真空吸盘吸住硅片进行自动转运,所以吸盘的好坏直接决定硅片生产的效率。现有的真空吸盘一般采用金属材料制成,金属吸盘重量大,并且耐磨性差,磨损产生的金属废屑会对硅片产生污染,导致生产异常,需要定时检测和跟换,金属制成的真空吸盘使用寿命短、维护频繁。

实用新型内容

为解决上述问题,本实用新型提供一种耐磨性好、重量轻、使用寿命长的一种陶瓷真空吸盘,具体技术方案为:

一种陶瓷真空吸盘,包括采用陶瓷制成的吸盘本体,所述吸盘本体的吸附面设有若干抽气槽,所述抽气槽的底部设有连通孔,所述吸盘本体的一端设有吸气孔,所述吸气孔与所述连通孔相通。

优选的,所述吸盘本体的吸附面上设有吸附台,若干所述抽气槽设置在所述吸附台上。

优选的,若干所述抽气槽同心设置。

进一步的,所述抽气槽为腰形槽。

优选的,所述吸盘本体的一端设有若干固定孔。

优选的,所述吸盘本体的一端设有若干定位槽。

与现有技术相比本实用新型具有以下有益效果:

本实用新型提供的一种陶瓷真空吸盘重量轻、耐磨、并且不会污染硅片、使用寿命长、无需频繁检测和维护。

附图说明

图1是一种陶瓷真空吸盘的结构示意图。

具体实施方式

现结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1所示,一种陶瓷真空吸盘,包括采用陶瓷制成的吸盘本体1,吸盘本体1的吸附面设有吸附台5,吸附台5上设有若干抽气槽2,抽气槽2的底部设有连通孔3,吸盘本体1的一端设有吸气孔4,吸气孔4与连通孔3相通。其中,抽气槽2为腰形槽,且若干抽气槽2同心阵列设置。吸盘本体1的一端对称设有两个固定孔6和定位槽7。

硅片吸附在吸附台5上,吸附台5高出吸附面,减少与硅片的接触面积,降低对吸附面的平面度要求,降低加工难度,使加工方便。吸气孔4通过连通孔3对抽气槽2进行抽气,当硅片与吸附台5接触后,抽气槽2形成负压,将硅片吸附在吸附台5上。

由于陶瓷的硬度高、耐磨,因此使用寿命长。由于陶瓷不导电,即使磨损产生的废屑也不会导电,对硅片的生产无影响,减少了真空吸盘检测和维护的频率。

定位槽7方便定位,固定孔6用于固定一种陶瓷真空吸盘。

陶瓷真空吸盘采用高纯微晶氧化铝为原料,制作的真空吸盘打磨后平面度好,吸力大,且氧化铝含量高,比重小,重量轻,坯体强度大,耐磨损,对光伏硅板无污染,使用寿命长。

一种陶瓷真空吸盘的制备方法:

1、将九九八氧化铝干压料放入干压模具中,采用干压成型工艺,保持1000-1300kg/cm2的压力成形,得到陶瓷吸盘生坯;

2、将陶瓷真空吸盘坯体放入高温炉素烧,素烧温度1000-1050℃,保温时间2-4h;

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