[实用新型]一种陶瓷真空吸盘有效
申请号: | 202220440306.9 | 申请日: | 2022-03-02 |
公开(公告)号: | CN216849890U | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 赵振;马松华;谢洁;咸杏娟 | 申请(专利权)人: | 宜兴市九荣特种陶瓷有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人: | 王建文 |
地址: | 214222 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 真空 吸盘 | ||
本实用新型涉及一种真空吸盘,尤其是一种陶瓷真空吸盘,包括采用陶瓷制成的吸盘本体,所述吸盘本体的吸附面设有若干抽气槽,所述抽气槽的底部设有连通孔,所述吸盘本体的一端设有吸气孔,所述吸气孔与所述连通孔相通。本实用新型提供的一种陶瓷真空吸盘重量轻、耐磨、并且不会污染硅片、使用寿命长、无需频繁检测和维护。
技术领域
本实用新型涉及一种真空吸盘,尤其是一种陶瓷真空吸盘。
背景技术
太阳能光伏发电主要通过利用硅等半导体材料制成太阳能板,利用光照产生直流电,而太阳能发电主要用的是硅片,所以硅片的生产尤为重要,硅片的质量好坏直接决定了发电量的多少和硅片的寿命。硅片的生产都实现了全自动化生产,在硅片转运过程是靠真空吸盘吸住硅片进行自动转运,所以吸盘的好坏直接决定硅片生产的效率。现有的真空吸盘一般采用金属材料制成,金属吸盘重量大,并且耐磨性差,磨损产生的金属废屑会对硅片产生污染,导致生产异常,需要定时检测和跟换,金属制成的真空吸盘使用寿命短、维护频繁。
实用新型内容
为解决上述问题,本实用新型提供一种耐磨性好、重量轻、使用寿命长的一种陶瓷真空吸盘,具体技术方案为:
一种陶瓷真空吸盘,包括采用陶瓷制成的吸盘本体,所述吸盘本体的吸附面设有若干抽气槽,所述抽气槽的底部设有连通孔,所述吸盘本体的一端设有吸气孔,所述吸气孔与所述连通孔相通。
优选的,所述吸盘本体的吸附面上设有吸附台,若干所述抽气槽设置在所述吸附台上。
优选的,若干所述抽气槽同心设置。
进一步的,所述抽气槽为腰形槽。
优选的,所述吸盘本体的一端设有若干固定孔。
优选的,所述吸盘本体的一端设有若干定位槽。
与现有技术相比本实用新型具有以下有益效果:
本实用新型提供的一种陶瓷真空吸盘重量轻、耐磨、并且不会污染硅片、使用寿命长、无需频繁检测和维护。
附图说明
图1是一种陶瓷真空吸盘的结构示意图。
具体实施方式
现结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1所示,一种陶瓷真空吸盘,包括采用陶瓷制成的吸盘本体1,吸盘本体1的吸附面设有吸附台5,吸附台5上设有若干抽气槽2,抽气槽2的底部设有连通孔3,吸盘本体1的一端设有吸气孔4,吸气孔4与连通孔3相通。其中,抽气槽2为腰形槽,且若干抽气槽2同心阵列设置。吸盘本体1的一端对称设有两个固定孔6和定位槽7。
硅片吸附在吸附台5上,吸附台5高出吸附面,减少与硅片的接触面积,降低对吸附面的平面度要求,降低加工难度,使加工方便。吸气孔4通过连通孔3对抽气槽2进行抽气,当硅片与吸附台5接触后,抽气槽2形成负压,将硅片吸附在吸附台5上。
由于陶瓷的硬度高、耐磨,因此使用寿命长。由于陶瓷不导电,即使磨损产生的废屑也不会导电,对硅片的生产无影响,减少了真空吸盘检测和维护的频率。
定位槽7方便定位,固定孔6用于固定一种陶瓷真空吸盘。
陶瓷真空吸盘采用高纯微晶氧化铝为原料,制作的真空吸盘打磨后平面度好,吸力大,且氧化铝含量高,比重小,重量轻,坯体强度大,耐磨损,对光伏硅板无污染,使用寿命长。
一种陶瓷真空吸盘的制备方法:
1、将九九八氧化铝干压料放入干压模具中,采用干压成型工艺,保持1000-1300kg/cm2的压力成形,得到陶瓷吸盘生坯;
2、将陶瓷真空吸盘坯体放入高温炉素烧,素烧温度1000-1050℃,保温时间2-4h;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造