[实用新型]一种石英坩埚自动检测设备

权利要求书

1.一种石英坩埚自动检测设备，其特征在于，包括转运机构(1)、翻转机构(2)、厚度检测机构(3)、尺寸检测机构(4)；

所述转运机构(1)包括X轴平移装置(11)、起吊装置(12)，所述起吊装置(12)能够由所述X轴平移装置(11)驱动平移，并能够竖向提升坩埚；

所述翻转机构(2)包括两组能够相互开合的夹紧臂(21)，所述夹紧臂(21)转动连接翻转夹爪(22)，相对设置的两个所述翻转夹爪(22)夹紧坩埚，并带动坩埚相对于所述夹紧臂(21)绕横向转轴翻转；

厚度检测机构(3)包括Y轴平移装置(31)、Z轴升降装置(32)、超声波检测探头(33)，所述超声波检测探头(33)受所述Y轴平移装置(31)和所述Z轴升降装置(32)的驱动沿Y轴和Z轴移动；

尺寸检测机构(4)包括检测基座(41)、转动支架(42)、检测夹板(43)、直径测量光栅(44)，所述转动支架(42)能够相对于所述检测基座(41)绕竖向转轴转动；两组所述检测夹板(43)能够沿所述转动支架(42)平移开合，所述直径测量光栅(44)能够测量所述检测夹板(43)之间的间距。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚自动检测设备，其特征在于，所述起吊装置(12)包括起吊基座(121)，所述起吊基座(121)竖向滑动装配起吊滑轨(122)，所述起吊滑轨(122)的顶端与所述起吊基座(121)之间设置起吊驱动器(123)，所述起吊滑轨(122)的底端连接起吊吸盘(124)，所述起吊吸盘(124)能够吸附在坩埚的底面。

3.根据权利要求2所述的石英坩埚自动检测设备，其特征在于，所述起吊滑轨(122)的底端设置到位检测支架(125)，所述到位检测支架(125)的与所述起吊吸盘(124)等高的位置安装到位检测探头。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚自动检测设备，其特征在于，所述翻转夹爪(22)竖向并排设置两个对中辊轮(23)。

5.根据权利要求1所述的石英坩埚自动检测设备，其特征在于，所述超声波检测探头(33)通过检测旋转装置(34)带动调节角度。

6.根据权利要求5所述的石英坩埚自动检测设备，其特征在于，所述厚度检测机构(3)还包括耦合剂加注喷头(35)，所述超声波检测探头(33)检测之前由所述耦合剂加注喷头(35)向坩埚外表面喷射耦合剂。

7.根据权利要求1所述的石英坩埚自动检测设备，其特征在于，所述检测夹板(43)竖向滑动安装于直径检测滑架(45)，所述直径检测滑架(45)水平滑动安装于所述转动支架(42)；所述检测夹板(43)在夹板升降装置(46)的带动下能够相对于所述直径检测滑架(45)竖向平移。

8.根据权利要求7所述的石英坩埚自动检测设备，其特征在于，所述尺寸检测机构(4)还包括高度检测杆，高度测量光栅能够检测所述高度检测杆的位置，并与坩埚所放置的支撑台之间的间距测量坩埚的高度。

9.根据权利要求1至8任一项所述的石英坩埚自动检测设备，其特征在于，所述转运机构(1)、翻转机构(2)、厚度检测机构(3)安装于机架(5)之内，所述尺寸检测机构(4)安装于所述机架(5)之外；所述翻转机构(2)位于所述机架(5)的中部，所述机架(5)的中部设置目检窗口。

10.根据权利要求9所述的石英坩埚自动检测设备，其特征在于，所述机架(5)设置数据汇总记录模块。