[实用新型]一种携带电源盒的电源柜

说明书

本实用新型一种携带电源盒的电源柜包括，柜体内由上至下固定多个水平承载板，位于上方的水平承载板的底部和位于下方的水平承载板的顶部之间的空腔按照由左至右方向设置为多个插槽，每一插槽中插设有一个分子泵电源盒，分子泵电源盒包括抽屉式盒体，抽屉式盒体的前部设置有交流进电指示灯、直流输出指示灯和把手，抽屉式盒体的后部设置有交流电输入口和直流电输出口，抽屉式盒体内固定有直流电源模块，交流电输入口穿设有用于连接外接电源和直流电源模块的进线，直流电输出口穿设有用于连接分子泵和直流电源模块的出线，交流进电指示灯和直流输出指示灯与直流电源模块导线连接。设计简洁，可同时放置多个电源盒，满足多台分子泵同时工作。

技术领域

本实用新型涉及电源盒技术领域，特别是涉及一种携带电源盒的电源柜。

背景技术

在半导体技术中，薄膜溅射是金属互联的主要工艺手段，在薄膜溅射前，需要对晶圆表面进行预清除，来去掉其表面的氧化物来降低之后薄膜溅射时的接触电阻。这个工艺通常在蚀刻腔完成，蚀刻腔在工艺工程中需要用到分子泵来抽真空。之前的分子泵都是采用交流电源加驱动器来工作，随着技术的发展，分子泵的控制模块和分子泵集成在一起，供电直接改为直流供电，这样电源模块的安装位置和安装方式就要重新设计，本实用新型就是针对此问题而设计的。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术存在的问题和不足，提供一种新型的携带电源盒的电源柜。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：

本实用新型提供一种携带电源盒的电源柜，其特点在于，其包括柜体，所述柜体内由上至下固定有多个水平承载板，相邻所述水平承载板中，位于上方的水平承载板的底部和位于下方的水平承载板的顶部之间的空腔按照由左至右方向设置为多个插槽，每一所述插槽中插设有一个分子泵电源盒，所述分子泵电源盒包括抽屉式盒体，所述抽屉式盒体的前部设置有交流进电指示灯、直流输出指示灯和把手，所述抽屉式盒体的后部设置有交流电输入口和直流电输出口，所述抽屉式盒体内固定有直流电源模块，所述交流电输入口穿设有用于连接外接电源和直流电源模块的进线，所述直流电输出口穿设有用于连接分子泵和直流电源模块的出线，所述交流进电指示灯和直流输出指示灯与直流电源模块导线连接。

较佳地，按照由上至下方向第一个水平承载板的底部和第二个水平承载板的顶部之间的空腔按照由左至右方向设置为多个插槽。

本实用新型的积极进步效果在于：

本实用新型分子泵电源盒集成在电源柜上，采用抽屉式的结构，拆装方便，整个电源柜结构设计简洁，可同时放置多个电源盒，满足多台分子泵同时工作。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的携带电源盒的电源柜的结构示意图。

图2为本实用新型较佳实施例的携带电源盒的电源柜的局部放大图。

图3为本实用新型较佳实施例的分子泵电源盒的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。