[实用新型]一种晶体炉观察窗口的旋钮防护装置

说明书

本实用新型公开了一种晶体炉观察窗口的旋钮防护装置，安装到晶体炉炉膛内的旋转螺杆上，位于固定到旋转螺杆端部的旋转挡板和晶体炉炉壁之间，包括：盖体，内套，外套和片状的限位螺帽；盖体通过其上设置的通孔套装到旋转螺杆上，内套通过其上设置的螺纹孔安装旋转螺杆上，其中，内套端部触压到盖体上；外套套装到内套外，外套底壁通过其上设置的安装孔与内套外壁嵌合安装，盖体翻沿扣合到外套外壁上，其中，外套和内套之间存在空隙；限位螺帽安装到旋转螺杆上，用于将外套定位并使盖体触压到晶体炉炉壁上；内套、外套和限位螺帽随旋转螺杆同步旋转。该旋钮防护装置增加了旋转螺杆和旋钮密封装置的使用寿命，保证了晶体炉炉膛的真空稳定性。

技术领域

本实用新型涉及一种设置晶体炉炉膛内观察窗口处的旋钮防护装置。

背景技术

晶体生长技术是材料科学领域十分重要的技术，要想获得优质的人工晶体，需要时刻观察晶体的生长状态。因而，大部分的传统晶体炉都设有观察窗口，观察窗口通常用旋钮实现开关，旋钮需要频繁使用，对组成旋钮的零部件提出了以下使用要求：为了保证旋钮有更高的开关次数，旋转螺杆要有足够的机械强度；为了实现旋钮的开关过程中炉体的持续密封，保障密封圈的使用寿命，螺杆表面与密封圈接触部位要足够光滑；旋钮还要耐高温，在高温条件下，旋钮本身不会产生污染炉膛环境的污染物。因此，大部分旋转螺杆使用金属（例如，优质碳钢）螺杆，在炉膛内的螺杆下端固定用于遮挡观察窗口的挡板。

参见图1，为传统的晶体炉及旋钮的剖面示意图，旋钮结构相对简单，图中a为螺杆，b为密封装置的密封圈，c为晶体炉，d为加热器，f为挡板，g为旋钮把手，h为观察窗，通过调节旋钮把手g实现挡板f遮挡和开启观察窗h。螺杆a位于炉膛内的部分没有任何防护措施，真空密封装置相当于直接与炉膛热场以及内部气氛直接接触。因此，现有旋钮的结构主要有以下两个缺点：1、当生长高熔点晶体时，直接辐射到螺杆a表面的热量会通过螺杆a直接传导给机械传动结构和密封圈b，使密封圈b老化，降低密封圈b的使用寿命，减小了真空稳定性。如果晶体在高温生长时出现漏气现象将对旋钮及晶体炉产生极大损害，同时，高温也易使螺杆a变形导致以后维护时拆装困难；2、当炉膛内存在强腐蚀性气体（例如，生长氟化钙晶体炉膛内就存在HF气体）时，晶体炉c自身易受腐蚀，炉膛内表面容易沉积吸附杂质，而杂质掉落时会污染炉膛环境，螺杆a和密封圈c容易受到腐蚀。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种晶体炉观察窗口的旋钮防护装置，降低高温对旋钮机械性能和密封性能的影响，降低炉膛内腐蚀性气体对密封圈的影响。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种晶体炉观察窗口的旋钮防护装置，安装到晶体炉炉膛内的旋转螺杆上，位于固定到所述旋转螺杆端部的旋转挡板和晶体炉炉壁之间，包括：盖体，内套，外套和片状的限位螺帽；

所述盖体通过其上设置的通孔套装到所述旋转螺杆上，所述内套通过其上设置的螺纹孔安装所述旋转螺杆上，其中，所述内套端部触压到所述盖体上；

所述外套套装到所述内套外，所述外套底壁通过其上设置的安装孔与所述内套外壁嵌合安装，所述盖体翻沿扣合到所述外套外壁上，其中，所述外套和所述内套之间存在空隙；所述限位螺帽安装到所述旋转螺杆上，用于将所述外套定位并使所述盖体触压到晶体炉炉壁上；

所述内套、所述外套和所述限位螺帽随所述旋转螺杆同步旋转。

进一步，所述盖体、所述内套、所述外套和所述限位螺帽均为石墨材质。

进一步，所述旋钮防护装置还包括石墨滑片，所述石墨滑片安装在所述外套端口和所述盖体之间。

进一步，所述内套横截面外轮廓为矩形；在所述内套与所述外套地的安装孔的嵌合处，所述内套外壁和所述安装孔孔壁均为粗糙面。

进一步，所述盖体与所述晶体炉炉壁接触处设置与该处炉壁配合的定位结构。