[实用新型]一种骨声纹传感器

权利要求书

1.一种骨声纹传感器，其特征在于，包括：

外壳(1)和基板(2)，所述外壳(1)固定在所述基板(2)上，并在所述外壳(1)和所述基板(2)之间形成容纳腔；

振动单元(3)，所述振动单元(3)设置于所述容纳腔中；所述振动单元(3)具有第一振膜(31)；

麦克风单元(4)，所述麦克风单元(4)设置于所述基板(2)；所述麦克风单元(4)具有第二振膜(411)；在所述第一振膜和所述第二振膜(411)之间形成封闭的前腔体(100)，在所述第二振膜(411)和所述基板(2)之间形成封闭的后腔体(200)；

调节单元(5)，所述调节单元(5)具有与所述后腔体(200)连通的调节腔室，以增加所述后腔体(200)的体积。

2.根据权利要求1所述的骨声纹传感器，其特征在于，还包括：COB胶层(6)，所述COB胶覆盖部分所述前腔体(100)，以减少所述前腔体(100)的体积。

3.根据权利要求2所述的骨声纹传感器，其特征在于，所述COB胶层(6)的顶面高度低于所述第二振膜(411)的高度，并在所述COB胶层(6)的顶面与所述第二振膜(411)之间形成预设距离。

4.根据权利要求1所述的骨声纹传感器，其特征在于，所述调节单元(5)为在基板(2)内部设置的背洞结构，且所述基板(2)上设置有连通所述背洞结构与所述后腔体(200)的通气孔(21)。

5.根据权利要求1所述的骨声纹传感器，其特征在于，所述麦克风单元(4)包括MEMS芯片(41)，所述第二振膜(411)位于所述MEMS芯片(41)；

所述调节单元(5)为垫环结构，所述垫环结构设置于所述基板(2)上，并在所述垫环结构的内侧调节腔室，所述MEMS芯片(41)设置于所述垫环结构上。

6.根据权利要求5所述的骨声纹传感器，其特征在于，所述麦克风单元(4)还包括ASIC芯片(42)，所述ASIC芯片(42)设置于所述垫环结构。

7.根据权利要求1所述的骨声纹传感器，其特征在于，所述外壳(1)包括第一壳体(11)和第二壳体(12)，所述第一壳体(11)设置于所述基板(2)上，且所述麦克风单元(4)设置于所述第一壳体(11)内；

所述振动单元(3)设置于所述第一壳体(11)上，所述第二壳体(12)围设在所述振动单元(3)的远离所述麦克风单元(4)的一侧。

8.根据权利要求7所述的骨声纹传感器，其特征在于，所述振动单元(3)上设置有与所述前腔体(100)连通的第一通孔(301)；

所述第二壳体(12)上设置有第二通孔(121)，所述第二通孔(121)与所述第一通孔(301)连通。

9.根据权利要求1所述的骨声纹传感器，其特征在于，所述振动单元(3)设置于所述基板(2)，并在所述第一振膜与所述基板(2)之间形成振动空间，所述麦克风单元(4)设置于所述振动空间中。

10.根据权利要求9所述的骨声纹传感器，其特征在于，还包括呈环状的支撑台(7)，所述第一振膜的周边覆盖在所述支撑台(7)上。