[实用新型]一种烧制ITO靶材的烧结炉用排压机构有效
| 申请号： | 202220376883.6 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN217110401U | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 马伟;王志强 | 申请（专利权）人： | 芜湖信安数控科技有限公司;芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B5/00 | 分类号： | F27B5/00;F27B5/06;F27D17/00 |
| 代理公司： | 芜湖市昌强专利代理事务所(特殊普通合伙) 34203 | 代理人： | 吴文玉 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市中*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 烧制 ito 烧结炉 用排压 机构 | ||
1.一种烧制ITO靶材的烧结炉用排压机构，其特征在于，包括：烧结炉(1)，设置在所述烧结炉(1)上端的两处排压部(2)以及设置在两处所述排压部(2)外壁的两个盖帽部(3)，其中；
所述烧结炉(1)排压时，两个所述盖帽部(3)能够顶起，以使两处所述排压部(2)露出。
2.如权利要求1所述的一种烧制ITO靶材的烧结炉用排压机构，其特征在于，
所述排压部(2)包括连通设置在所述烧结炉(1)上的排压管(21)以及呈圆周设置在所述排压管(21)上的若干排热孔(22)；
若干所述排热孔(22)为上宽下窄的等腰梯形，其中；
所述盖帽部(3)顶起时，若干所述排热孔(22)能够露出。
3.如权利要求2所述的一种烧制ITO靶材的烧结炉用排压机构，其特征在于，
所述排压部(2)还包括设置在所述烧结炉(1)上的储油圆槽(23)；
所述储油圆槽(23)与所述排压管(21)为同一圆心，其中；
所述储油圆槽(23)能够散发所述排压管(21)热量。
4.如权利要求3所述的一种烧制ITO靶材的烧结炉用排压机构，其特征在于，
所述排压管(21)外侧设置有若干润滑部(4)；
所述盖帽部(3)包括套在所述排压管(21)上的固定筒(31)以及设置在所述固定筒(31)内侧的若干滑槽(32)；
若干所述润滑部(4)与若干所述滑槽(32)一一对应，其中；
所述固定筒(31)顶起时，若干所述滑槽(32)能够沿若干所述润滑部(4)上升。
5.如权利要求4所述的一种烧制ITO靶材的烧结炉用排压机构，其特征在于，
所述盖帽部(3)还包括螺旋连接在所述固定筒(31)底端的固定环(33)；
所述固定环(33)内径小于所述滑槽(32)内径，其中；
若干所述滑槽(32)沿若干所述润滑部(4)上升时，所述固定环(33)能够上抵若干所述润滑部(4)。
6.如权利要求5所述的一种烧制ITO靶材的烧结炉用排压机构，其特征在于，
所述润滑部(4)包括设置在所述排压管(21)外侧的滑块(41)，其中；
所述滑槽(32)能够沿所述滑块(41)升降。
7.如权利要求6所述的一种烧制ITO靶材的烧结炉用排压机构，其特征在于，
所述润滑部(4)还包括设置在所述滑块(41)相邻三个面上的三个活动槽(42)以及设置在三个所述活动槽(42)内的三个滚珠(43)，其中；
所述滑槽(32)沿所述滑块(41)升降时，三个所述滚珠(43)能够摩擦所述滑槽(32)，以使三个所述滚珠(43)滚动。
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