[实用新型]一种多功能光学检测模组

说明书

本实用新型提供了一种多功能光学检测模组，包括工作台，在工作台设置有支撑梁，光学检测模组连接于所述支撑梁；所述光学检测模组包括壳体，所述壳体为侧边和顶部封闭、底部开口的结构；在壳体内设有Z轴移动机构，Z轴移动机构连接有检测镜头，在检测镜头下方设有光源；在壳体下方还设置有测距传感器组件，用于测量待测工件与镜头之间的距离；本实用新型的检测镜头设置于壳体内，壳体为侧边和顶部封闭、底部开口的结构，使检测镜头只能接收一个方向光，避免了侧面输入的灯光干扰，保证了检测的准确性，同时设置有测距传感器，通过测量工件与检测镜头之间的距离，进而确定镜头的焦距，提高了检测的清晰度和准确性。

技术领域

本实用新型涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种用于晶圆的多功能光学检测模组。

背景技术

现有的对于晶圆的光学检测模组的镜头大多裸露在外，从而存在外界光线对镜头采光的干扰，影响检测的准确性。

因此，需要设计一种多功能光学检测模组以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种多功能光学检测模组，用于解决现有技术中的检测镜头会受到外界光线的干扰，影响检测准确性的问题。

为解决上述问题，本实用新型提供以下技术方案：多功能光学检测模组，包括工作台，在工作台设置有支撑梁，光学检测模组连接于所述支撑梁；

所述光学检测模组包括壳体，所述壳体为侧边和顶部封闭、底部开口的结构；

在壳体内设有Z轴移动机构，Z轴移动机构连接有检测镜头，在检测镜头下方设有光源；

在壳体下方还设置有测距传感器组件，用于测量待测工件与镜头之间的距离。

进一步的，所述支撑梁设有X轴移动机构，所述壳体与X轴移动机构连接。

进一步的，在工作台上设置有Y轴移动机构，Y轴移动机构上设置有料盘。

进一步的，所述X轴移动机构、Y轴移动机构和Z轴移动机构均为滚珠丝杆结构。

进一步的，在所述壳体的正面设置有可拆卸的盖板。

与现有技术相比，本实用新型至少具有以下有益效果：

本实用新型的检测镜头设置于壳体内，壳体为侧边和顶部封闭、底部开口的结构，使检测镜头只能接收一个方向光，避免了侧面输入的灯光干扰，保证了检测的准确性，同时设置有测距传感器，通过测量工件与检测镜头之间的距离，进而确定镜头的焦距，提高了检测的清晰度和准确性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例的整体结构示意图；

图2是图1的部分结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。可以理解的是，附图仅仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。附图中显示的连接关系仅仅是为了便于清晰描述，并不限定连接方式。