[实用新型]一种扫描电镜样品台清洗装置

说明书

本实用新型涉及扫描电镜分析仪器技术领域，尤其涉及一种扫描电镜样品台清洗装置，其包括外腔体、清洗筒及动力传动装置，清洗筒转动的安装于外腔体内并由动力传动装置驱动旋转，清洗筒包括筒体及密封盖，筒体侧部设有开口且筒体内设有多个样品台放置区，密封盖密封的安装于筒体的开口处。本实用新型提供的装置结构简单，操作方便，能够实现多个样品台批量电动清洗，从而节约和减少人工重复劳动，清洗效率高且清洗效果好。

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜分析仪器技术领域，尤其涉及一种扫描电镜样品台清洗装置。

背景技术

扫描电镜是一种用于材料样品形貌和成分分析的常用仪器设备。由于扫描电镜可达到纳米级分辨率且内部为高真空环境，因此需要将测试的样品固定在其配套的样品台上。对于绝大部分常规样品的固定采用双面导电胶将样品粘贴固定在样品台上。样品台一般为硬质合金，价格较高，需重复使用，因此在测试结束后需要对样品台上粘贴的导电胶及样品进行去除。现主要采用的方法为先用刀片将导电胶从样品台上尽量刮除，然后用沾有无水乙醇的棉签对残留的导电胶再进行擦拭去除，完全依靠人工对样品台进行逐个清理，不仅费时费力，效率低，而且清洗的不够彻底。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供结构简单，清洗效率高且清洗效果好的一种扫描电镜样品台清洗装置。

本实用新型是通过以下技术方案予以实现：

一种扫描电镜样品台清洗装置，其包括外腔体、清洗筒及动力传动装置，所述清洗筒转动的安装于外腔体内并由动力传动装置驱动旋转，所述清洗筒包括筒体及密封盖，所述筒体侧部设有开口且筒体内设有多个样品台放置区，所述密封盖密封的安装于筒体的开口处。

进一步，筒体内壁上沿筒体延伸方向均匀的固定安装有多个放置区分隔板，多个所述放置区分隔板均指向筒体中心且放置区分隔板端部与筒体中心之间留有间隙。

进一步，外腔体包括底板及侧围板，外腔体内固定安装有隔板将外腔体分隔成动力腔及清洗腔，所述清洗筒转动安装于清洗腔内，所述动力传动装置包括电机及传动机构，所述电机固定安装于动力腔内并通过传动机构驱动清洗筒旋转。

进一步，清洗腔一端的侧围板及隔板上分别开设有延伸到顶部的安装槽，密封盖及筒体的外端部分别固定安装有同心的转轴，所述转轴转动的安装于相应的安装槽内，所述传动机构包括主动齿轮及被动齿轮，所述主动齿轮安装于电机转轴上，被动齿轮安装于筒体外端部的转轴上，且主动齿轮及被动齿轮均位于清洗腔内。

进一步，筒体内放置有无水乙醇和细沙。

优化的，外腔体为聚醚醚酮材料制成。

优化的，筒体及密封盖为聚四氟乙烯材料制成。

实用新型的有益效果

本实用新型保护的一种扫描电镜样品台清洗装置，具有如下优点：结构简单，操作方便，能够实现多个样品台批量电动清洗，从而节约和减少人工重复劳动，清洗效率高且清洗效果好。

附图说明

图1是本实用新型俯视结构示意图；

图2是筒体侧视结构示意图；

图中1.外腔体，2.清洗腔，3.密封盖，4.筒体,5.放置区分隔板,6.主动齿轮，7.电机，8.转轴,9.安装槽,10.动力腔，11.隔板,12.被动齿轮,13.底板,14.侧围板,15.样品台放置区。

具体实施方式

一种扫描电镜样品台清洗装置，其包括外腔体1、清洗筒及动力传动装置，所述清洗筒转动的安装于外腔体内并由动力传动装置驱动旋转，所述清洗筒包括筒体4及密封盖3，所述筒体侧部设有开口且筒体内设有多个样品台放置区15，多个样品台放置区的设置可以防止在清洗过程中，样品台之间发生相互碰撞。