[实用新型]一种晶圆片输送存放装置

说明书

本实用新型揭示了一种晶圆片输送存放装置，包括晶圆盒、挡板以及连接组件；所述挡板设置在所述晶圆盒开口处，用于对所述晶圆盒内部的晶圆片限位；所述连接组件设置在所述挡板与所述晶圆盒之间，使得所述晶圆盒与所述挡板可拆卸连接。本实用新型通过挡板以及连接组件的配合使用，使得晶圆盒在放置输送台时，晶圆片不易从晶圆盒内部滑出，以使得晶圆片不会出现破片等情况，进而提升晶圆片输送时的安全系数。

技术领域

本实用新型涉及半导体测试领域，特别是涉及一种晶圆片输送存放装置。

背景技术

在半导体测试过程中，需要将晶圆片输送至特定位置进行检测，因此需要存放装置来存放晶圆片并进行输送。现有的晶圆片存放装置一般为晶圆盒，然而晶圆盒因其顶部需要设置一开口，才能够将晶圆片放入至晶圆盒内部来进行输送，在将晶圆盒放置在输送台时，晶圆片易从晶圆盒开口处滑出，导致其损坏，不利于工厂的经济利益需求。

因此需要一种晶圆片输送存放装置，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种晶圆片输送存放装置，以实现在放置晶圆盒时，晶圆片不易从晶圆盒开口处滑出，以提升晶圆片输送时的安全系数。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆片输送存放装置，包括晶圆盒、挡板以及连接组件；所述挡板设置在所述晶圆盒开口处，用于对所述晶圆盒内部的晶圆片限位；所述连接组件设置在所述挡板与所述晶圆盒之间，使得所述晶圆盒与所述挡板可拆卸连接。

进一步的，所述挡板设置为透明亚克力板。

进一步的，所述连接组件设置有多个。

进一步的，所述连接组件包括插接片和限位条；所述插接片铰接在所述挡板外壁上；所述限位条设置在所述晶圆盒外壁上，且所述限位条与所述晶圆盒之间形成有一插接腔，所述插接腔用于与所述插接片相卡接。

进一步的，所述限位条设置为弹性材质。

进一步的，所述连接组件还包括一卡扣板，所述卡扣板铰接在所述晶圆盒外壁，且所述卡扣板位于所述限位条的外侧，用于对所述插接片限位。

进一步的，所述卡扣板与所述插接片相贴合处设置有相互吸附的磁铁。

进一步的，所述晶圆盒内壁对称设置有放置板，所述放置板上设置有多个用于放置晶圆片的放置腔。

进一步的，多个所述放置腔呈等距设置在所述放置板上。

相比于现有技术，本实用新型至少具有以下有益效果：

通过设置有挡板以及连接组件，利用挡板对晶圆片限位，并通过连接组件确保挡板与晶圆盒紧密连接，以使得晶圆盒在放置至输送台时，晶圆片不会从晶圆盒开口处滑出，从而提升晶圆盒放置时，晶圆片的安全系数。

附图说明

图1为本实用新型晶圆片输送存放装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型晶圆片输送存放装置的整体结构主视图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的晶圆片输送存放装置进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提出了一种晶圆片输送存放装置，包括晶圆盒1、挡板2以及连接组件3。