[实用新型]一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置

说明书

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，提供一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置，包括炉体、第一保护壳和第二保护壳，炉体的外部设置有第一保护壳，第一保护壳的外部设置有拆装结构，第一保护壳的顶端设置有出气管，第一保护壳的底端设置有第二保护壳，第二保护壳的底端设置有抽气管，第二保护壳底端的中间位置处设置有注气管，第一保护壳与第二保护壳的内部设置有防护结构。本实用新型通过设置有拆装结构，将锁紧螺栓从通孔内部拆下，然后分离对接槽与对接块之间的卡合，便可完成对于第一保护壳和第二保护壳的拆卸，对第一保护壳和第二保护壳的便捷拆下，方便了工作人员对于炉体的检修。

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，特别涉及一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，在使用化学气相沉积炉进行化学反应时，为防止该化学气相沉积炉出现漏气等问题，就需要使用此类化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置对该化学气相沉积炉的漏气进行紧急处理。

现今市场上的此类漏气快速处理辅助装置种类繁多，基本可以满足人们的使用需求，但是依然存在一定的问题：传统的此类漏气快速处理辅助装置，在使用时，常因拆装不便，如果需对其内部的炉体进行检修时，保护壳在炉体的外部可能会影响检修进程，因此需对其进行改进。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型的目的是提供一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置，用以解决现有的化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置常因拆装不便的缺陷。

（二）实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置，包括炉体、第一保护壳和第二保护壳，所述炉体的外部设置有第一保护壳，所述第一保护壳的外部设置有拆装结构；

所述第一保护壳的顶端设置有出气管，所述第一保护壳的底端设置有第二保护壳；

所述第二保护壳的底端设置有抽气管，所述第二保护壳底端的中间位置处设置有注气管，所述第一保护壳与第二保护壳的内部设置有防护结构，所述第一保护壳与第二保护壳的内部还设置有加强结构，所述炉体的底端设置有对接管，所述炉体的顶端设置有连接管。

优选的，所述拆装结构包括第一连接块、第二连接块、通孔、锁紧螺栓、对接槽、对接块和密封圈，所述第二连接块固定于第一保护壳的外部，所述第二保护壳的外部固定有第一连接块，所述第一连接块与第二连接块的内部开设有通孔，所述通孔的内部贯穿有锁紧螺栓，所述第二保护壳一端的外侧开设有对接槽，所述对接槽的内部插设有对接块，且对接块的一端与第一保护壳固定连接，所述对接块的外侧设置有密封圈。将第一保护壳和第二保护壳安装于炉体的外部，然后将对接槽与对接块卡合，利用对接槽与对接块之间的卡合，能够令第一保护壳与第二保护壳更加准确的拼接，再将锁紧螺栓插入通孔内部对第一连接块和第二连接块进行固定便可完成对于第一保护壳和第二保护壳的安装，通过锁紧锁紧螺栓使其紧压第一连接块和第二连接块能够令第一保护壳与第二保护壳更加紧密的贴合，其中，密封圈作用于第一保护壳与第二保护壳的连接处，能够起到密封的作用，使其不会轻易出现漏气的问题，在工作人员对炉体进行维护或检修时，只需将锁紧螺栓从通孔的内部拆下，然后分离对接槽和对接块之间的卡合，便可完成对于第一保护壳和第二保护壳的拆卸，此时工作人员便可对于炉体进行维护与检修。

优选的，所述对接槽的内径大于对接块的外径，所述对接槽与对接块构成卡合结构。