[实用新型]一种高纯铟真空铸锭炉有效
申请号: | 202220325622.1 | 申请日: | 2022-02-17 |
公开(公告)号: | CN216729505U | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 曹昌威;唐朝辉 | 申请(专利权)人: | 楚雄川至电子材料有限公司 |
主分类号: | B22D21/02 | 分类号: | B22D21/02;B22D2/00;B22D46/00 |
代理公司: | 成都精点专利代理事务所(普通合伙) 51338 | 代理人: | 周建 |
地址: | 675099 云南省楚雄*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高纯 真空 铸锭 | ||
1.一种高纯铟真空铸锭炉,包括炉体(4),其特征在于,还包括真空系统,所述真空系统包括石英管(3)和旋片泵(1),所述旋片泵(1)的输出端与石英管(3)连通,所述石英管(3)内安装有料斗(10)和模具(11),所述模具(11)位于所述料斗(10)下方,所述炉体(4)内设有用于对石英管(3)进行加热的加热组件,所述石英管(3)的上段设有第一温度传感器,所述石英管(3)的下段设有第二温度传感器,所述第一温度传感器和所述第二温度传感器均与温度控制器相连。
2.根据权利要求1所述的一种高纯铟真空铸锭炉,其特征在于,所述加热组件包括由外向内依次设置在炉体(4)内的保温层(5)、加热炉丝(6)和氧化铝管,所述加热炉丝(6)位于保温层(5)和氧化铝管的外壁之间,所述石英管(3)位于所述氧化铝管内。
3.根据权利要求2所述的一种高纯铟真空铸锭炉,其特征在于,所述加热炉丝(6)由上而下缠绕氧化铝管,加热炉丝(6)的缠绕间距依次递增。
4.根据权利要求1所述的一种高纯铟真空铸锭炉,其特征在于,所述石英管(3)上段设置水冷夹套。
5.根据权利要求1所述的一种高纯铟真空铸锭炉,其特征在于,还包括缓冲罐(2),所述缓冲罐(2)分别与所述旋片泵(1)的输出端、石英管(3)连通,缓冲罐(2)内装有石英环填料。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的一种高纯铟真空铸锭炉,其特征在于,所述料斗(10)底部开设有多个引流孔,铟溶液通过引流孔过滤缓慢流入模具(11)内。
7.根据权利要求6所述的一种高纯铟真空铸锭炉,其特征在于,所述炉体(4)的底部可旋转。
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