[实用新型]一种精密按压调平装置

说明书

本实用新型公开了一种精密按压调平装置，包括球头螺母、调节螺杆、调平杠杆、调平转轴、杠杆固定座、主体、上压杆、封气滚珠、下压杆、下压杆外密封、支撑套、支撑套外部密封圈、垫圈、压缩弹簧、底部螺丝、进气接头、出气接头；其中，球头螺母、调节螺杆用于调节调平杠杆的上下高度；调平杠杆以调平转轴为支点转动；上压杆与调平杠杆相切；下压杆通过下压杆外密封、支撑套、支撑套外部密封圈密封设置；进气接头连接外部进气源；出气接头连接减振器腔体；主体与进气接头通过支撑套的过气通道连通；下压杆设置与出气接头连通的腔体，腔体设置与所述支撑套连通的通孔。本实用新型安装在减振器上，可以缩短设备的稳定时间，保持运动设备的水平性。

技术领域

本实用新型涉及精密机械领域，尤其涉及的是一种精密按压调平装置。

背景技术

现有技术，各种的精密加工设备、高精度机床、超精密运动平台、高端检测设备、光学平台设备、半导体设备、例如光刻机、晶圆检测设备等；在设置的时候均要用到减振器，减振器对各设备的使用和运行起到减振的作用；减振的目的是控制干扰振动，将干扰振动的不利影响控制在可接受的范围内。减振器被设计来为不同型号的设备提供振动和冲击的保护。如果需要减振的设备本身就是振源(例如：冲击和振动试验台)，减振的目的就是减少振动从振源到支撑结构的传播。

现有技术中，各设备在运行时，由于振动的关系，其稳定性和水平性均会发生变化，因此，在进行减振的同时，也需要对运行设备进行稳定性和水平线进行调整。

因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种安装在减振器上，可以缩短设备的稳定时间，保持运动设备的水平性的精密按压调平装置。

本实用新型的技术方案如下：一种精密按压调平装置，包括球头螺母1、调节螺杆2、调平杠杆3、调平转轴4、杠杆固定座6、主体9、上压杆10、封气滚珠13、下压杆15、下压杆外密封16、支撑套17、支撑套外部密封圈18、垫圈19、压缩弹簧20、底部螺丝21、进气接头23、出气接头24；其中，球头螺母1、调节螺杆2固定于调平杠杆3上，用于调节调平杠杆3的上下高度；调平转轴4固定在杠杆固定座6上，调平杠杆3以调平转轴4为支点转动；上压杆10与调平杠杆3相切；封气滚珠13顶在上压杆10与下压杆15之间；下压杆15通过下压杆外密封16、支撑套17、支撑套外部密封圈18密封设置；支撑套17、垫圈19、底部螺丝21相互顶紧设置；并且，进气接头23连接外部进气源；出气接头24连接减振器腔体；所述主体9与所述进气接头23通过支撑套17的过气通道连通；所述下压杆15设置有一与所述出气接头24连通的腔体，并且，所述腔体还设置一与所述支撑套17连通的通孔。

应用于上述技术方案，所述的精密按压调平装置中：还包括挡片5，所述挡片5固定在杠杆固定座6上；用于阻挡调平杠杆3与杠杆固定座6的摩擦。

应用于上述各个技术方案，所述的精密按压调平装置中：还包括有上连接螺母7、M30细牙螺母8，其中，上连接螺母7与主体9紧固连接，M30细牙螺母8用于与外部零部件锁紧。

应用于上述各个技术方案，所述的精密按压调平装置中：还包括有尼龙密封圈11、双边密封圈12，其中，尼龙密封圈11、双边密封圈12设置在所述上压杆10上，与所述上压杆10组装密封设置。

应用于上述各个技术方案，所述的精密按压调平装置中：还设置一辅助顶升弹簧14；辅助顶升弹簧14装配在主体9内并与上压杆10接触设置。

应用于上述各个技术方案，所述的精密按压调平装置中：还包括一消声器22；所述消声器22与所述主体9连通。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型可以通过安装在减振器上，可以缩短设备的稳定时间，保持运动设备的水平性。

附图说明

图1为本实用新型的整体示意图；