[实用新型]一种称量桶用排气管防结晶装置

说明书

本实用新型公开了一种称量桶用排气管防结晶装置，涉及称量桶排气管防结晶技术领域，为解决现有的化学结晶易造成称量桶中排气管堵塞的问题。所述称量桶的上端设置有物料进管，且物料进管的下端延伸至称量桶的内部，所述称量桶的底部安装有物料出管，所述物料出管的一侧设置有排气管，排气管的一侧与物料出管密封固定，且排气管的两端均呈L型结构，所述排气管的另一端安装有三通阀，所述三通阀的上端密封安装有水路管，所述三通阀的下端安装有排风管，所述排气管的内部安装有固定轴，且固定轴的两端分别与排气管的上下端固定连接。

技术领域

本实用新型涉及称量桶排气管防结晶技术领域，具体为一种称量桶用排气管防结晶装置。

背景技术

随着半导体行业的迅速发展，要求对产品清洗的精度要求越来越高，工艺也会要求越来越高。与此同时，解决化学品使用时出现的问题更是亟不可待。在半导体行业中，在使用化学时，结晶一直是较为麻烦的问题，很多化学品在处理过程中都出现结晶问题，结晶问题影响着工艺及生产，如不解决，将造成严重后果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种称量桶用排气管防结晶装置，以解决上述背景技术中提出的化学结晶易造成称量桶中排气管堵塞的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种称量桶用排气管防结晶装置，包括称量桶，所述称量桶的上端设置有物料进管，且物料进管的下端延伸至称量桶的内部，所述称量桶的底部安装有物料出管，所述物料出管的一侧设置有排气管，排气管的一侧与物料出管密封固定，且排气管的两端均呈L型结构，所述排气管的另一端安装有三通阀，所述三通阀的上端密封安装有水路管，所述三通阀的下端安装有排风管，所述排气管的内部安装有固定轴，且固定轴的两端分别与排气管的上下端固定连接。

优选的，所述排气管的上下端均安装有轴承套，所述轴承套的外部安装有涡轮盘，且涡轮盘与轴承套过盈配合，所述涡轮盘的外部设置有若干呈环形等距分布的涡轮叶片。

优选的，上下端所述涡轮叶片之间焊接固定有连接杆，且连接杆设置有两个，所述连接杆的外侧均设置有硬质毛刷，且硬质毛刷与排气管的内壁相贴合。

优选的，所述水路管的外部安装有水路阀门。

优选的，所述物料进管的外部安装有进料阀门。

优选的，所述物料出管的外部安装有出料阀门。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过设置有三通阀，三通阀的侧端与排气管相连接，上端与水路管相连接，下端与排风管相连接，称量桶工作状态下关闭水路阀门，开启出料阀门以及三通阀的侧端和下端，在排气管与排风管的配合下，能够防止化学液体在称量的过程中溢出，从而避免造成浪费，其次能够保证化学品称量桶内正压，在称量完成后关闭出料阀门和三通阀的下端，开启水路阀门，水路管内部的去离子水则通过三通阀进入至排气管，实现对内部的清理，从而防止化学品结晶出现在狭小的管子内，即使会出现一些结晶也不会堵塞整个管内。

2、本实用新型通过在排气管的内部设置有辅助清理机构，辅助清理机构由固定轴、连接杆、硬质毛刷、轴承套、涡轮盘和涡轮叶片组成，水流通过排气管时，会带动装有涡轮叶片的涡轮盘进行旋转，从而带动上下涡轮叶片之间的连接杆进行旋转，硬质毛刷设置有连接杆的外侧，同时一端与排气管的内壁相贴合，旋转过程中与其产生摩擦，进一步对排气管内壁上的化学结晶进行清理，通过这种方式，不仅排气管的内部不会出现堵塞的情况，而且能够保证每次使用时内壁保持清洁的状态。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的排气管内部结构示意图；

图3为本实用新型的图2中A区域局部放大图。