[实用新型]承载组件及检测设备有效

专利信息
申请号: 202220167196.3 申请日: 2022-01-21
公开(公告)号: CN217404115U 公开(公告)日: 2022-09-09
发明(设计)人: 张龙;方一;陈鲁;张嵩 申请(专利权)人: 深圳中科飞测科技股份有限公司
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01
代理公司: 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 代理人: 彭家恩
地址: 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 承载 组件 检测 设备
【说明书】:

本申请公开了一种承载组件及检测设备,所述承载组件包括承载本体以及载台,所述承载本体与所述载台固定连接,所述载台设有凹槽,所述承载本体设于所述凹槽内,并与所述凹槽的底部或侧壁连接;所述承载组件还包括移动装置,所述移动装置与所述载台连接,所述移动装置用于带动所述载台沿检测方向进行移动,所述检测方向与所述承载本体的承载面垂直。通过所述移动装置带动所述载台以及所述承载本体沿检测方向进行移动,从而调整所述承载本体上待测件与检测设备的检测镜头之间的距离,解决待测件表面的凹凸不平导致检测镜头无法对待测件的表面进行精准对焦的问题,提高对待测件的检测精度以及检测效率。

技术领域

本申请涉及检测技术领域,尤其涉及一种承载组件及承载系统。

背景技术

在对待测件通过光学方式进行检测时,由于待测件的表面不平坦,为了准确对待测件进行对焦,通常需要在每个检测位置调整检测镜头与待测件之间的距离,从而保整待测件能够通过检测镜头进行精确对焦。

在现有技术中,为了调整待测件与检测镜头之间的距离,通常为调整承载待测件的承载组件沿检测镜头的光轴方向的升降高度,但是承载组件在移动过程中会出现抖动的情况,从而影响承载组件的升降精度,降低了对待测件的检测效率。

发明内容

本申请实施例提供一种承载组件及检测设备。

第一方面,本申请实施例提供一种承载组件,所述承载组件包括承载本体以及载台,所述承载本体与所述载台固定连接,所述载台设有凹槽,所述承载本体设于所述凹槽内,并与所述凹槽的底部或侧壁连接;

所述承载组件还包括移动装置,所述移动装置与所述载台连接,所述移动装置用于带动所述载台沿检测方向进行移动,所述检测方向与所述承载本体的承载面垂直。

可选的,所述凹槽的深度小于所述承载本体的高度。

可选的,所述载台包括固定台以及载台本体,所述载台本体设有凹槽,所述承载本体设于所述凹槽内,所述移动装置的两端分别与所述固定台以及所述载台本体连接,所述固定台设于所述载台本体远离所述承载本体的一端。

可选的,所述移动装置包括多个子移动装置,多个所述子移动装置分别设于所述载台本体的周向边缘。

可选的,所述子移动装置为音圈电机。

可选的,所述承载组件还包括滑轨,所述滑轨设于所述固定台上,所述滑轨设有滑动部,所述载台本体还设有配合部,每个所述配合部与一个所述滑动部一一对应设置,所述滑动部与所述配合部滑动连接,所述滑动部用于限制所述承载组件的移动方向。

可选的,所述承载组件包括偶数个滑轨,每两个滑轨相对设置,并分设于所述固定台的两侧。

可选的,所述承载组件还包括弹性装置,所述弹性装置的一端与所述测量平台连接,另一端与所述载台本体连接。

可选的,所述载台包括四个所述弹性装置,每个所述弹性装置分别设于所述载台本体的边缘,每两个所述弹性装置相对设置。

第二方面,本申请实施例提供一种检测设备,所述检测设备包括测量平台以及如上述任一项实施方式所述的承载组件,所述检测设备还包括测量平台,所述承载组件设于所述测量平台上。

可以看出,在本申请中,所述承载组件包括承载本体以及载台,所述承载本体与所述载台固定连接,所述载台设有凹槽,所述承载本体设于所述凹槽内,并与所述凹槽的底部或侧壁连接;所述承载组件还包括移动装置,所述移动装置与所述载台连接,所述移动装置用于带动所述载台沿检测方向进行移动,所述检测方向与所述承载本体的承载面垂直。通过所述移动装置带动所述载台以及所述承载本体沿检测方向进行移动,从而调整所述承载本体上待测件与检测设备的检测镜头之间的距离,解决待测件表面的凹凸不平导致检测镜头无法对待测件的表面进行精准对焦的问题,提高对待测件的检测精度以及检测效率。

附图说明

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