[实用新型]一种超低吸收的CO2 有效
| 申请号： | 202220151927.5 | 申请日： | 2022-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN216900994U | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 陈莉;李全民;刘翔银;朱敏;吴玉堂 | 申请（专利权）人： | 南京波长光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211121 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 吸收 co base sub | ||
1.一种超低吸收的CO2激光双面增透膜，其特征在于：超低吸收的CO2激光双面增透膜的结构为：Air/qHpL/Sub/pLqH/Air；其中，Sub代表基底；H代表高折射率膜料ZnSe膜层，高折射率膜料ZnSe膜层的折射率为2～3；L代表低折射率膜层，L为两种低折射率膜料L1膜层和L2膜层的混合膜层，两种低折射率膜料L1膜层和L2膜层的折射率均为1～1.6，低折射率膜料L1膜层和低折射率膜料L2膜层所用材料不同，低折射率膜料L1膜层：低折射率膜料L2膜层的光学厚度比例控制在1：3～1：6；p、q分别代表各膜层的光学厚度系数。
2.如权利要求1所述的超低吸收的CO2激光双面增透膜，其特征在于：低折射率膜料L1膜层为YF3膜层或YbF3膜层。
3.如权利要求1或2所述的超低吸收的CO2激光双面增透膜，其特征在于：低折射率膜料L2膜层为BaF2膜层。
4.如权利要求1或2所述的超低吸收的CO2激光双面增透膜，其特征在于：基底的折射率2～3。
5.如权利要求4所述的超低吸收的CO2激光双面增透膜，其特征在于：基底所用材料为硒化锌，基底厚度为3±0.2mm。
6.如权利要求1或2所述的超低吸收的CO2激光双面增透膜，其特征在于：超低吸收的CO2激光双面增透膜的结构为：Air/0.2H(pmL1 pnL2)/Sub/(pnL2 pmL1)0.2H/Air，其中，H代表ZnSe膜层，L1代表YF3膜层或YbF3膜层，L2代表BaF2膜层，其中pm:pn＝i，3≤i≤6，pm和pn代表各膜层的光学厚度系数。
7.如权利要求6所述的超低吸收的CO2激光双面增透膜，其特征在于：YF3膜层或YbF3膜层的物理厚度为270±5nm、BaF2膜层的物理厚度为810±5nm、ZnSe膜层的物理厚度为225±5nm。
8.如权利要求6所述的超低吸收的CO2激光双面增透膜，其特征在于：YF3膜层或YbF3膜层的物理厚度为160±5nm、BaF2膜层的物理厚度为945±5nm、ZnSe膜层的物理厚度为214±5nm。
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