[实用新型]照明单元以及半导体检测设备

权利要求书

1.一种用于半导体检测设备的照明单元，其特征在于，包括：

发光结构，用于提供检测光；

腔室，位于所述发光结构的底部，所述腔室具有供所述检测光通过的开口，所述腔室用于设置待检测晶圆；

反光结构，在所述腔室中，且位于所述开口和晶圆之间，用于反射所述检测光至所述晶圆的边缘。

2.如权利要求1所述的照明单元，其特征在于，所述发光结构包括：

环形安装部；

第一锥度孔，位于所述环形安装部的底部，且所述第一锥度孔的顶部为小径端，所述第一锥度孔的底部为大径端；

环形光源，沿周向设置在所述第一锥度孔的侧壁上。

3.如权利要求2所述的照明单元，其特征在于，所述第一锥度孔的母线与所述晶圆表面法线的夹角为0度至90度。

4.如权利要求2所述的照明单元，其特征在于，所述发光结构还包括：匀光板，位于所述第一锥度孔的内壁上，覆盖所述环形光源。

5.如权利要求2所述的照明单元，其特征在于，所述环形光源包括多个间隔排布在第一锥度孔侧壁的发光二极管。

6.如权利要求2所述的照明单元，其特征在于，所述第一锥度孔为圆形锥孔或多边形锥孔。

7.如权利要求1所述的照明单元，其特征在于，所述反光结构包括：

环形反射罩，所述环形反射罩包括第二锥度孔，所述第二锥度孔的顶部开口小于底部开口。

8.如权利要求7所述的照明单元，其特征在于，所述第二锥度孔的底部尺寸大于所述晶圆的直径。

9.如权利要求7所述的照明单元，其特征在于，所述第二锥度孔侧壁上的母线与晶圆表面法线的夹角为0度至45度。

10.如权利要求2所述的照明单元，其特征在于，所述发光结构还包括：

光源控制器，与所述环形光源连接，用于调节环形光源的亮度；

所述光源控制器包括本地操控面板和/或远程控制接口。

11.如权利要求1所述的照明单元，其特征在于，所述照明单元还包括：透明窗口，位于所述腔室的开口，用于起到密封所述开口的作用。

12.如权利要求2所述的照明单元，其特征在于，所述发光结构还包括：通孔，位于第一锥度孔的顶部，且贯穿所述环形安装部。

13.一种半导体检测设备，其特征在于，包括：

如权利要求1至11任一项所述的照明单元，用于向晶圆提供检测光；

图像获取装置，位于所述发光结构的顶部，用于获取晶圆表面图像；

图像处理单元，用于对所述晶圆表面图像进行处理。

14.如权利要求13所述的半导体检测设备，其特征在于，所述发光结构具有通孔，用于使所述图像获取装置透过所述发光结构的通孔，获取晶圆表面图像。