[实用新型]一种结合光纤共焦测量面型或厚度的装置

权利要求书

1.一种结合光纤共焦测量面型或厚度的装置，其特征在于包括沿光轴依次设有：

多光谱光源(1)、第一聚焦透镜组(2)、分光镜(3)、锥型光纤(4)、准直透镜组(5)、色散聚焦透镜组(6)、XY位移平台(8)；

所述多光谱光源(1)和第一聚焦透镜组(2)均位于分光镜(3)一侧，所述锥型光纤(4)、准直透镜组(5)、色散聚焦透镜组(6)和XY位移平台(8)均位于分光镜(3)另一侧，所述分光镜(3)偏离多光谱光源(1)和锥型光纤(4)一侧依次设有第二聚焦透镜组(9)、光信号处理组件(10)，且所述第二聚焦透镜组(9)的光轴线与准直透镜组(5)的光轴线垂直；

所述多光谱光源(1)用于提供及发射多光谱光束；

所述第一聚焦透镜组(2)用于将多光谱光源(1)发出的光束聚焦于分光镜(3)上；

所述光信号处理组件(10)用于接收处理光信号；

所述分光镜(3)用于将第一聚焦透镜组(2)所聚焦的光束汇聚到锥型光纤(4)入射端以及对被测面板(7)所反射的反射光束进行光路方向调整而射向第二聚焦透镜组(9)上；

所述锥型光纤(4)射出端的端面为锥型，所述锥型光纤(4)射出端用于调整分光镜(3)所汇聚的光束为具有较大数值孔径NA的环形光束且射向准直透镜组(5)以及用于对被测面板(7)所反射的反射光束进行接收和滤波；

所述准直透镜组(5)和色散聚焦透镜组(6)用于准直和聚焦，当锥型光纤(4)射出端的环形光束射向到准直透镜组(5)上时，所述准直透镜组(5)则将环形光束准直为平行环形光束(12)射向色散聚焦透镜组(6)上，色散聚焦透镜组(6)则将准直的平行环形光束(12)聚焦于被测面板(7)相应表面；被测面板(7)所产生的反射光经过色散聚焦透镜组(6)收集而准直为平行光束射向准直透镜组(5)上，准直透镜组(5)再将色散聚焦透镜组(6)准直的平行光束聚焦于锥型光纤(4)射出端而经锥型光纤(4)入射端射向到分光镜(3)上、再由分光镜(3)调整光路方向后而射向第二聚焦透镜组(9)上，最后由第二聚焦透镜组(9)将被测面板(7)所反射的反射光束聚焦于光信号处理组件(10)上；

所述多光谱光源(1)、第一聚焦透镜组(2)、分光镜(3)、锥型光纤(4)入射端、锥型光纤(4)射出端、准直透镜组(5)、色散聚焦透镜组(6)、XY位移平台(8)同轴等高设置，所述XY位移平台(8)用于放置被测面板(7)，当调节XY位移平台8轴向移动时，可使得被测面板(7)相应表面与色散聚焦透镜组(6)的焦平面重合。

2.根据权利要求1所述一种结合光纤共焦测量面型或厚度的装置，其特征在于所述光信号处理组件(10)为光谱仪或颜色传感器。

3.根据权利要求1所述一种结合光纤共焦测量面型或厚度的装置，其特征在于经所述锥型光纤(4)射出端射出的光束为环形空心光束，所述环形空心光束的数值孔径NA可随锥型光纤(4)射出端的端面的锥面或锥角改变而调节。