[实用新型]一种晶圆夹持装置

权利要求书

1.一种晶圆夹持装置，其特征在于：所述的晶圆夹持装置，包括下夹盘(1)，下夹盘垂直连杆(2)，上夹盘(3)，下夹盘水平连杆(4)，气缸筒(5)，电机连接筒(6)，电机(7)，气缸杆固定夹(8)，气道(9)，排气口(10)，气缸杆(11)；

其中：下夹盘水平连杆(4)与下夹盘(1)之间通过下夹盘垂直连杆(2)连接，下夹盘垂直连杆(2)穿过上夹盘(3)；电机连接筒(6)与电机(7)连接，气缸杆固定夹(8)设置在气缸杆(11)上端；

下夹盘(1)内带有用于放置晶圆(12)的圆弧，气缸杆(11)内带有气道(9)，上夹盘(3)能升降，气缸杆(11)与电机(7)轴固定，气缸筒(5)随着进气量的增加能上下移动，电机(7)能带动晶圆(12)旋转，上夹盘(3)与气缸筒(5)连接，气缸筒(5)上设置有排气口(10)。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于：所述的下夹盘垂直连杆(2)为2或4根。

3.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于：所述的上夹盘(3)与下夹盘垂直连杆(2)之间设置有导向滑道装置。