[实用新型]一种风冷式分子泵有效
申请号: | 202220114172.1 | 申请日: | 2022-01-17 |
公开(公告)号: | CN216742055U | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 王成房 | 申请(专利权)人: | 山东世欣真空设备有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D29/58 |
代理公司: | 厦门一品恒润知识产权代理事务所(普通合伙) 35245 | 代理人: | 梁正贤 |
地址: | 257200 山东省东营市河口区*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 风冷 分子 | ||
1.一种风冷式分子泵,其特征在于,包括泵体和风机,所述泵体的外表面上开设有多条水平设置的散热槽;
所述风机设置在泵体侧边,所述风机产生的气流从散热槽中通过。
2.根据权利要求1所述的风冷式分子泵,其特征在于,所述散热槽底部切面为弧形或直线。
3.根据权利要求1所述的风冷式分子泵,其特征在于,所述风冷式分子泵还包括有下轴承座,所述下轴承座连接在泵体底部,所述风机通过支架与下轴承座底部连接。
4.根据权利要求3所述的风冷式分子泵,其特征在于,所述下轴承座底部上设置有地脚,所述地脚的高度大于支架的厚度。
5.根据权利要求1所述的风冷式分子泵,其特征在于,所述泵体侧壁上还设置有出气口和线源口,所述出气口和线源口相邻设置;
所述出气口、线源口与泵机中心轴连线的位置向量之和方向与风机至泵机中心轴连线位置向量方向相反。
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