[实用新型]一种微区X射线光谱分析系统

权利要求书

1.一种微区X射线光谱分析系统，其特征在于，包括：X射线光束会聚模块、样品探测模块、计算机；

所述X射线光束会聚模块用于获得聚焦的X射线微焦斑；所述X射线微焦斑包括多色微区X射线微焦斑和单色微区X射线微焦斑；

所述样品探测模块用于探测样品被所述X射线微焦斑激发后所产生的特征信号；

所述计算机用于根据所述特征信号获得样品表面相关信息。

2.根据权利要求1所述的微区X射线光谱分析系统，其特征在于，所述X射线光束会聚模块包括能够产生多色微区X射线微焦斑的多色会聚单元；

所述多色会聚单元包括：X射线光源(1)、遮光器(2)、对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)、对称设置的两个抛物线型单毛细管聚焦透镜(4)；

所述X射线光源(1)位于所述对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)前焦点处，所述遮光器(2)位于所述对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)的入射光或出射光处，用于阻挡直通光；

所述对称设置的两抛物线型单毛细管聚焦透镜(4)位于所述对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)后用于接收其出射的多色X射线束，并将其会聚为微焦斑，并照射在样品(7)表面。

3.根据权利要求1所述的微区X射线光谱分析系统，其特征在于，所述X射线光束会聚模块包括能够产生单色微区X射线微焦斑的单色会聚单元；

所述单色会聚单元包括：X射线光源(1)、遮光器(2)、对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)、对称设置的两个抛物线型单毛细管聚焦透镜(4)、单色器(10)；

所述X射线光源(1)位于所述对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)前焦点处，所述遮光器(2)位于所述对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)的入射光或出射光处，用于阻挡直通光；

所述单色器(10)用于将所述对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)所出射的多色准平行光束以一定角度入射至单色器(10)，并将其转变为准单色X射线束，并出射至所述对称设置的两个抛物线型单毛细管聚焦透镜(4)上；

所述对称设置的两抛物线型单毛细管聚焦透镜(4)位于所述对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)后，用于接收单色器(10)出射的单色X射线束，并将其会聚为微焦斑，并照射在样品(7)表面。

4.根据权利要求3所述的微区X射线光谱分析系统，其特征在于，所述单色会聚单元包括两个对称设置的所述单色器(10)。

5.根据权利要求2或3或4所述的微区X射线光谱分析系统，其特征在于，当所述遮光器(2)位于X射线光源(1)与对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)之间时，其直径小于对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)的入口直径；当置于对称设置的两个抛物线型单毛细管准直透镜(3)与对称设置的两抛物线型单毛细管聚焦透镜(4)之间时，其直径等于聚焦透镜出口直径。

6.根据权利要求2所述的微区X射线光谱分析系统，其特征在于，所述X射线光源(1)为微焦斑光管，其焦斑尺寸不大于80微米，光源焦斑形状为点状。

7.根据权利要求2所述的微区X射线光谱分析系统，其特征在于，所述抛物线型单毛细管准直透镜(3)、抛物线型单毛细管聚焦透镜(4)均采用中空玻璃管制造而成，其内部曲线为抛物线形，内壁镀有光滑的重金属薄膜，该重金属为铱，金，锇。

8.根据权利要求3或4平面晶体所述的微区X射线光谱分析系统，其特征在于，所述单色器(10)为平面晶体。

9.根据权利要求2所述的微区X射线光谱分析系统，其特征在于，所述遮光器(2)的材质为铅。