[实用新型]一种氧化亚铁对硅的形成的检测装置

权利要求书

1.一种氧化亚铁对硅的形成的检测装置，其特征在于，包括X射线光谱仪、光谱仪升降架、平衡压力仓和检测窗，在炉壳内设有坩埚架，坩埚架上设有坩埚，坩埚上方的炉壳上设有检测窗，检测窗外侧设有平衡压力仓，平衡压力仓内设有光谱仪升降架，所述光谱仪升降架包括固定架和活动架，活动架上设有X射线光谱仪，固定架与炉壳相连接，活动架上设有导轨与固定架上的导槽相配合，活动架上设有螺母与固定架上的丝杠相啮合，丝杠的顶部设有高温伺服电机；所述平衡压力仓与炉壳之间密封连接，平衡压力仓内的炉壳上设有电磁阀，电磁阀开启后，炉壳内与平衡压力仓相连通。

2.根据权利要求1所述的一种氧化亚铁对硅的形成的检测装置，其特征在于，所述检测窗包括窗框和耐高温视镜片，窗框的一侧与炉壳之间通过翻转轴和轴架相连接，翻转轴的一端连接翻转电机。

3.根据权利要求1所述的一种氧化亚铁对硅的形成的检测装置，其特征在于，所述平衡压力仓外设有厚度5~10mm的铅板屏蔽罩。

4.根据权利要求1所述的一种氧化亚铁对硅的形成的检测装置，其特征在于，所述平衡压力仓外侧盘设有冷却水管，冷却水管与冷却系统相连接。

5.根据权利要求1所述的一种氧化亚铁对硅的形成的检测装置，其特征在于，所述炉壳上设有充气管，充气管连接压缩机，充气管上设有充气阀。

6.根据权利要求1所述的一种氧化亚铁对硅的形成的检测装置，其特征在于，所述炉壳上设有真空管，真空管连接真空泵，真空管上设有真空阀。

7.根据权利要求1所述的一种氧化亚铁对硅的形成的检测装置，其特征在于，所述炉壳上设有热风管，热风管与热风炉相连接，热风管上设有热风阀。