[实用新型]一种用于石英棒开槽的加工装置

说明书

本实用新型公开了一种用于石英棒开槽的加工装置，包括特制卡台，所述特制卡台的上表面开设有若干个分布均匀的卡槽，所述特制卡台的上表面开设有若干个位置与卡槽相对应的导向槽，所述特制卡台上表面的两端均设置有可滑动的夹板，所述夹板的下表面固定连接有若干个一端卡接于导向槽的滑块，所述夹板的上表面固定连接有限位板，两个夹板的相对面均固定连接有若干个橡胶吸盘；该加工装置便于放置多个石英棒并且使其位置相对应，与现有技术相比，该加工装置便于安装到开槽机平台上，可以同时对多个石英棒进行快速稳定地固定，方便操作的同时，又便于将多个石英棒统一加工，减少加工误差以提高加工的尺寸精度。

技术领域

本实用新型属于石英棒加工技术领域，特别是涉及一种用于石英棒开槽的加工装置。

背景技术

在集成电路扩散工艺制程中，需要由石英舟作为晶圆(硅片)的载体，而槽棒是组成石英舟的重要部分。因而对石英槽棒槽齿的平面度、垂直度、平行度、单个间距尺寸、总的间距尺寸都有相应的要求。

现有的加工平台结构简单，通常只能对单根槽棒进行固定，以单独开槽加工，导致其加工效率有所不足，而石英舟由三根或以上数量槽棒组成的，现有的加工平台不便于对其统一加工，存在加工误差、步骤繁琐、尺寸精度难以保证的缺陷，为此我们提出了一种用于石英棒开槽的加工装置解决上述问题。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种用于石英棒开槽的加工装置，避免了现有的加工平台不便于对若干数量槽棒组成的石英舟进行统一加工，存在加工误差、步骤繁琐、尺寸精度难以保证的缺陷的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种用于石英棒开槽的加工装置，包括特制卡台，所述特制卡台的上表面开设有若干个分布均匀的卡槽，所述特制卡台的上表面开设有若干个位置与卡槽相对应的导向槽，所述特制卡台上表面的两端均设置有可滑动的夹板，所述夹板的下表面固定连接有若干个一端卡接于导向槽的滑块，所述夹板的上表面固定连接有限位板，两个夹板的相对面均固定连接有若干个橡胶吸盘。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述特制卡台的上表面为“凹”字形结构，所述夹板的底端形状结构与特制卡台的上表面形状结构相吻合。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述导向槽的横截面与滑块的横截面均为梯形结构。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述限位板的横截面为“L”字形结构，所述限位板的下表面设置有垫板，所述垫板与限位板内壁的上表面之间固定连接有若干个支撑弹簧。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述垫板的下表面设置有表面开设防滑纹的防滑层，且防滑层为橡胶材质。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述特制卡台的正面与背面均通过销轴铰接有两个挡板，所述挡板的一端通过紧固螺丝与特制卡台相连接。

与现有技术相比，本实用新型能达到的有益效果是：

1、该装置通过在特制卡台的上表面设置向中部倾斜的特定结构，并且在卡槽的配合作用下，便于放置多个石英棒并且使其位置相对应，而通过滑块与导向槽的连接配合，使得特制卡台两端的夹板能够移动，并且利用橡胶吸盘与石英棒相吸附，同时，夹板上表面的限位板移动到石英棒的上方，通过支撑弹簧对垫板挤压作用，能够利用垫板对石英棒进行挤压限位，以达到对石英棒的多级限位，便于利用刀具同时对多个石英棒开槽加工，与现有技术相比，该加工装置便于安装到开槽机平台上，可以同时对多个石英棒进行快速稳定地固定，方便操作的同时，又便于将多个石英棒统一加工，减少加工误差以提高加工的尺寸精度。

2、该装置通过在特制卡台的两端设置挡板，可以防止夹板从特制卡台上脱离下来，且挡板的一端通过销轴与特制卡台相连接，在拧开紧固螺丝后，可以对挡板解除锁定，便于操作挡板向下旋转以快速解除对夹板的阻挡，让夹板可以从特制卡台上拆卸下来，方便对其进行更换，使得该加工装置便于维护或者组装。

附图说明