[发明专利]三维振镜校正方法及激光设备

权利要求书

1.一种三维振镜校正方法，应用于包括三维振镜的激光设备，所述三维振镜架设在所述激光设备的机台上，其特征在于，所述方法包括：

建立所述三维振镜的Z值与初始加工图形的半径R之间的R-Z映射关系；

基于所述R-Z映射关系计算预设的第一网格的每个交点的第一振镜坐标；

基于所述预设的第一网格的每个交点的第一振镜坐标执行网格雕刻，获得雕刻的第二网格；

计算所述第二网格的每个交点的机台坐标，并将所述第二网格的每个交点的机台坐标转为数学坐标；

基于所述第二网格的每个交点的数学坐标将待雕刻图形的任意一点的数学坐标转化为第二振镜坐标，从而获得所述待雕刻图形的每个点的第二振镜坐标；

基于所述待雕刻图形的每个点的第二振镜坐标进行网格雕刻，获得加工图形。

2.如权利要求1所述的三维振镜校正方法，其特征在于，所述建立所述三维振镜的Z值与初始加工图形的半径R之间的R-Z映射关系包括：

在所述三维振镜的Z值等于0时，基于所述机台的Z’值范围确定所述机台的目标Z’值；

将所述机台的Z’值调整为所述目标Z’值，并确定所述三维振镜的Z值范围中的每个Z值对应的半径R；

根据所述三维振镜的Z值范围中的每个Z值以及该每个Z值对应的半径R，利用预设的曲线拟合算法建立所述R-Z映射关系。

3.如权利要求2所述的三维振镜校正方法，其特征在于，所述基于所述机台的Z’值范围确定机台的目标Z’值包括：

基于所述机台的Z’值范围以及预设的第一间隔确定所述机台的N个Z’值；

基于所述N个Z’值中的每个Z’值雕刻一个圆，获得N个圆，所述N个圆与所述N个Z’值一一对应；

获取相机检测的所述N个圆中的每个圆的线宽；

根据所述N个圆中的每个圆的线宽，从所述N个圆中选取与最窄线宽对应的圆作为目标圆，将与所述目标圆对应的所述机台的Z’值作为所述机台的目标Z’值。

4.如权利要求2所述的三维振镜校正方法，其特征在于，所述确定所述三维振镜的Z值范围中的每个Z值对应的半径R包括：

基于所述三维振镜的Z值范围以及预设的第二间隔确定所述三维振镜的Q个Z值；

基于所述三维振镜的Q个Z值中的每个Z值雕刻M个同心圆；

基于所述Q个Z值中的每个Z值对应的M个同心圆获得所述Q个Z值中的每个Z值对应的半径R。

5.如权利要求1所述的三维振镜校正方法，其特征在于，所述基于所述R-Z映射关系计算预设的第一网格的每个交点的第一振镜坐标包括：

以所述第一网格的中心交点为原点，计算所述第一网格的每个交点的X坐标和Y坐标；

基于所述第一网格的每个交点的X坐标和Y坐标，获得所述第一网格的每个交点到所述原点的距离R；

基于所述R-Z映射关系获得所述第一网格的每个交点对应的所述三维振镜的Z值，由此获得所述第一网格的每个交点的第一振镜坐标。

6.如权利要求1所述的三维振镜校正方法，其特征在于，所述计算所述第二网格的每个交点的机台坐标，将所述第二网格的每个交点的机台坐标转为数学坐标包括：

接收相机检测的所述第二网格的中心交点的机台坐标；

获取相机位于所述第二网格的其他交点中任意一个交点处的偏移量，并接收相机检测的机台当前的机台坐标；

基于相机的偏移量和机台当前的机台坐标确定所述第二网格的任意一个交点的机台坐标；

将所述第二网格的任意一个交点的机台坐标减去第二网格的中心交点的机台坐标，获得所述第二网格的任意一个交点的数学坐标。