[发明专利]一种传片对中机构

说明书

本发明提供一种传片对中机构，涉及晶圆对中技术领域，包括固定支座，所述固定支座的下端固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有联轴器，所述联轴器的上端装有传片主轴，所述传片主轴的外表面固装有旋转手臂，所述旋转手臂的侧面装有传片对中手臂，所述固定支座的下端设置有下密封腔体，传片主轴可以带动旋转手臂运动，使得传片对中手臂随旋转手臂的运动绕传片主轴作旋转动作，在传片对中手臂旋转的同时，利用对中轮对导向板的挤压，使对中夹具可以推动晶圆移动，以此在传片对中手臂进行晶圆传片的同时实现对晶圆的对中，从而解决了甲酸回流工艺过程中晶圆产生偏移的风险，避免了晶圆碎片的问题，复位弹簧则可以复位移动后的对中夹具。

技术领域

本发明涉及晶圆对中技术领域，尤其涉及一种传片对中机构。

背景技术

回流机是电子制程领域回流焊工艺中的重要半导体设备，目前主要有传统回流机及甲酸回流机两种，传统回流机采用履带或链条式的传片机构，结构复杂，体积庞大，故障率高；甲酸回流机采用旋转传片的对中机构，结构紧凑，传片效率高，故障率低，并可在传片中实现晶圆对中，但是，目前行业内同类别的设备较少，只有少数国外厂商有类似的设备，国产替代率低，从而导致使用成本极高，不利于国内半导体行业的发展。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种传片对中机构。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种传片对中机构，包括固定支座，所述固定支座的下端固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有联轴器，所述联轴器的上端装有传片主轴，所述传片主轴的外表面固装有旋转手臂，所述旋转手臂的侧面装有传片对中手臂，所述固定支座的下端设置有下密封腔体，所述下密封腔体的上端固定连接有对中轮，所述传片对中手臂的下端固定安装有夹具支座，所述夹具支座的上端设置有对中夹具，所述对中夹具的侧面固装有导向板，所述传片对中手臂的上表面设置有弹簧支座。

为了使对中轮贴合在导向板表面，本发明改进有，所述导向板的形状为弧形。

为了将移动后的对中夹具复位，本发明改进有，所述弹簧支座和导向板之间装有复位弹簧。

为了挤压推动导向板，本发明改进有，所述对中轮与导向板相贴合。

为了同时进行六块晶圆的传片动作，本发明改进有，所述旋转手臂的数量为六组，六组所述旋转手臂圆周分布在传片主轴的外表面。

为了拆装夹具支座，本发明改进有，所述传片对中手臂与夹具支座采用栓接连接。

为了对中不同规格的晶圆，本发明改进有，所述对中夹具可兼容两种尺寸规格的晶圆。

与现有技术相比，本发明的优点和积极效果在于，

本发明中，传片主轴可以带动旋转手臂运动，使得传片对中手臂随旋转手臂的运动绕传片主轴作旋转动作，在传片对中手臂旋转的同时，利用对中轮对导向板的挤压，使对中夹具可以推动晶圆移动，以此在传片对中手臂进行晶圆传片的同时实现对晶圆的对中，从而解决了甲酸回流工艺过程中晶圆产生偏移的风险，避免了晶圆碎片的问题，复位弹簧则可以复位移动后的对中夹具。

附图说明

图1为本发明提出一种传片对中机构的整体结构示意图；

图2为本发明提出一种传片对中机构中下密封腔体的俯视图；

图3为本发明提出一种传片对中机构中传片对中手臂的部分结构示意图；

图4为本发明提出一种传片对中机构中对中夹具的结构示意图。

图例说明：

1、传片主轴；2、旋转手臂；3、固定支座；4、联轴器；5、电机；6、传片对中手臂；7、下密封腔体；8、对中轮；9、导向板；10、复位弹簧；11、弹簧支座；12、对中夹具；13、夹具支座。